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龍圖騰網獲悉西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術有限公司申請的專利一種硅片中轉裝置和硅片中轉方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114005774B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111264769.0，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種硅片中轉裝置和硅片中轉方法是由王強設計研發完成，并于2021-10-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種硅片中轉裝置和硅片中轉方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種硅片中轉裝置和硅片中轉方法。硅片中轉裝置包括：水槽組件，用于容納待中轉的硅片；傳輸組件；傳感器，傳感器用于檢測水槽組件是否位于第一區域、第二區域、第三區域和第四區域中的任一處；上料組件，對應第一區域設置，配置為在傳感器檢測到水槽組件位于第一區域時，向水槽組件內移入硅片；機械手，對應第二區域設置，配置為在傳感器檢測到水槽組件位于第二區域時，移出水槽組件中的硅片；排水組件，對應第三區域設置，配置為在傳感器檢測到水槽組件位于第三區域時，控制水槽組件排水；清洗組件，對應第四區域設置，配置為在傳感器檢測到水槽組件位于第四區域時，清洗水槽組件。本發明提高了硅片中轉的便利性。

本發明授權一種硅片中轉裝置和硅片中轉方法在權利要求書中公布了：1.一種硅片中轉裝置，其特征在于，包括： 水槽組件，用于容納待中轉的硅片； 傳輸組件，所述傳輸組件由第一區域依次經由第二區域和第三區域延伸至第四區域，所述傳輸組件用于傳輸所述水槽組件沿所述第一區域、所述第二區域、所述第三區域和所述第四區域的方向運動； 多個傳感器，沿所述傳輸組件的延伸方向設置，所述傳感器用于檢測所述水槽組件是否位于所述第一區域、所述第二區域、所述第三區域和所述第四區域中的任一處； 上料組件，對應所述第一區域設置，配置為在所述傳感器檢測到所述水槽組件位于所述第一區域時，向所述水槽組件內移入硅片； 機械手，對應所述第二區域設置，配置為在所述傳感器檢測到所述水槽組件位于所述第二區域時，移出所述水槽組件中的硅片； 排水組件，對應所述第三區域設置，配置為在所述傳感器檢測到所述水槽組件位于所述第三區域時，控制所述水槽組件排水； 清洗組件，對應所述第四區域設置，配置為在所述傳感器檢測到所述水槽組件位于所述第四區域時，清洗所述水槽組件； 所述水槽組件包括： 水槽基座，與所述傳輸組件匹配，以在所述傳輸組件的傳輸下移動； 水槽本體，設置于所述水槽基座上，所述水槽本體上設置有排水口和進氣口； 硅片卡夾，活動容納于所述水槽本體內，所述硅片卡夾用于固定位于所述水槽本體內的硅片。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人西安奕斯偉材料科技有限公司;西安奕斯偉硅片技術有限公司，其通訊地址為：710000 陜西省西安市高新區西灃南路1888號1-3-029室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。