吉林大學楊光獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉吉林大學申請的專利一種芯片近場磁場測量系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN116482588B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202310476780.6,技術領域涉及:G01R33/10;該發明授權一種芯片近場磁場測量系統是由楊光;周寧;金雪瑩;孫旭旭;李抵非;邱春玲;田地設計研發完成,并于2023-04-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種芯片近場磁場測量系統在說明書摘要公布了:本發明公開了一種芯片近場磁場測量系統,涉及磁場測量技術領域。所述系統包括:激光發射調制裝置、光路調整模塊、金剛石片、電控二維位移臺、CCD相機和電磁屏蔽控制裝置;通過設置激光發射調制裝置和電磁屏蔽控制裝置發出調制激光和量子態調控微波,與被測芯片測量區域的近場磁場共同作用下生成熒光信號,根據被測芯片上不同測量區域對應的熒光信號,確定被測芯片的近場磁場分布。本發明通過設置激光發射調制裝置和電磁屏蔽控制裝置能夠提高大面積芯片近場磁場的測量效率。
本發明授權一種芯片近場磁場測量系統在權利要求書中公布了:1.一種芯片近場磁場測量系統,其特征在于,包括:激光發射調制裝置、光路調整模塊、金剛石片、電控二維位移臺、CCD相機和電磁屏蔽控制裝置; 所述激光發射調制裝置設置于所述光路調整模塊的第一輸入光路上;所述激光發射調制裝置用于輸出調制激光; 所述電控二維位移臺設置于所述光路調整模塊的第一輸出光路和第二輸入光路上;所述第一輸出光路和所述第二輸入光路重合且光信號傳輸的方向相反;所述電控二維位移臺用于搭載被測芯片,并通過水平滑動調整被測芯片的測量區域; 所述金剛石片設置于所述電控二維位移臺和所述光路調整模塊之間;所述金剛石片在被測芯片通電時處于被測芯片測量區域的近場磁場范圍內;所述測量區域為金剛石片在被測芯片上的投影區域; 所述CCD相機設置于所述光路調整模塊的第二輸出光路上; 所述電磁屏蔽控制裝置分別與所述電控二維位移臺、所述激光發射調制裝置、所述金剛石片和所述所述CCD相機連接;所述電磁屏蔽控制裝置用于控制所述電控二維位移臺水平滑動;所述電磁屏蔽控制裝置還用于發出量子態調控微波對所述金剛石片進行量子態微波調制; 所述光路調整模塊置用于將所述調制激光反射至覆蓋在被測芯片上的金剛石片;所述光路調整模塊置還用于將熒光信號透射至所述CCD相機;所述熒光信號是所述金剛石片在所述調制激光、所述量子態調控微波和被測芯片測量區域的近場磁場共同作用下生成的; 所述電磁屏蔽控制裝置還用于根據被測芯片上不同測量區域對應的熒光信號,確定被測芯片的近場磁場分布。
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