蘇州格羅德集成電路有限公司沙建德獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州格羅德集成電路有限公司申請的專利一種晶圓承載裝置獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223260574U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202421953577.X，技術領域涉及：H01L21/687；該實用新型一種晶圓承載裝置是由沙建德;邱小磊;邵國艷設計研發完成，并于2024-08-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓承載裝置在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種晶圓承載裝置，涉及半導體加工設備領域，其技術方案要點是：包括固定臺和轉動連接在固定臺頂端的承載盤，所述承載盤遠離固定臺的一端設有密封罩，所述密封罩內設有冷凝網和吸濕網，所述冷凝網設置在吸濕網遠離承載盤的一端，所述固定臺上設置有與密封罩相應的密封槽，所述密封槽槽內設有若干通風孔，所述導風裝置用于引導氣流自上而下流動使該氣流先后經過冷凝網、吸濕網后冷卻承載盤。本實用新型通過設置導風裝置引發氣流先后經過冷凝網和吸濕網，使得降溫干燥后的氣流沖刷承載盤表面，加速了承載盤的散熱，提高了生產效率。
本實用新型一種晶圓承載裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓承載裝置，包括固定臺1和轉動連接在固定臺1頂端的承載盤2，其特征在于：所述承載盤2遠離固定臺1的一端設有密封罩4，所述密封罩4內設有冷凝網5和吸濕網6，所述冷凝網5設置在吸濕網6遠離承載盤2的一端，所述固定臺1上設置有與密封罩4相應的密封槽，所述密封槽槽內設有若干通風孔11，所述固定臺1遠離承載盤2的一端設有導風裝置7，所述導風裝置7用于引導氣流自上而下流動使該氣流先后經過冷凝網5、吸濕網6后冷卻承載盤2。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州格羅德集成電路有限公司，其通訊地址為：215000 江蘇省蘇州市工業園區金雞湖大道1355號國際科技園三期5C；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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