合肥領航微系統集成有限公司張政虎獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉合肥領航微系統集成有限公司申請的專利一種通過懸臂梁結構增強性能的PMUT獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223249790U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422113912.1，技術領域涉及：B06B1/06；該實用新型一種通過懸臂梁結構增強性能的PMUT是由張政虎;俞海波設計研發完成，并于2024-08-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種通過懸臂梁結構增強性能的PMUT在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種通過懸臂梁結構增強性能的PMUT，涉及半導體工藝技術領域，包括襯底和壓電層，襯底具有相對的正面和背面，壓電層位于襯底的正面，壓電層包括依次層疊設置的底電極、壓電薄膜和頂電極，頂電極包括由至少三組懸臂梁組成的多邊體，懸臂梁的橫截面為多組梯形拼接形成的多邊形，梯形的拼接處形成集中應力的應力拐角，多組懸臂梁通過空氣熱黏合為一個環形的整體，頂電極的中部為多組懸臂梁拼接形成的等邊的中心孔，靠近中心孔一端的相鄰懸臂梁之間形成拼接縫。懸臂梁的應力拐角使PMUT振膜應力集中，較傳統的直梁、梯形梁和三角梁具有更好的性能，每組懸臂梁長度不同，形成長度不一的諧振梁，長度不一的諧振梁帶來了大帶寬。
本實用新型一種通過懸臂梁結構增強性能的PMUT在權利要求書中公布了：1.一種通過懸臂梁結構增強性能的PMUT，包括襯底和壓電層，其特征在于：襯底具有相對的正面和背面，壓電層位于襯底的正面，壓電層包括依次層疊設置的底電極3、壓電薄膜2和頂電極1，頂電極1包括由至少三組懸臂梁11組成的多邊體，懸臂梁11的橫截面為多組梯形拼接形成的多邊形，梯形的拼接處形成集中應力的應力拐角12，多組懸臂梁11通過空氣熱黏合為一個環形的整體，頂電極1的中部為多組懸臂梁11拼接形成的等邊的中心孔14，靠近中心孔14一端的相鄰懸臂梁11之間形成拼接縫13。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人合肥領航微系統集成有限公司，其通訊地址為：230031 安徽省合肥市高新區孔雀臺路2899號聯東U谷·合肥高新國際企業港18-101號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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