寧波潤平電子材料有限公司惠宏業獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網獲悉寧波潤平電子材料有限公司申請的專利一種拋光頭用保持環獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223251352U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422481439.2，技術領域涉及：B24B37/27；該實用新型一種拋光頭用保持環是由惠宏業;沈有飛;姚力軍;左威;趙梓聿;柏鈞天設計研發完成，并于2024-10-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種拋光頭用保持環在說明書摘要公布了：本實用新型提供了一種拋光頭用保持環，所述保持環包括結構板、支撐膜、支撐墊和拋光板；所述結構板和拋光板均為環狀且同軸設置；所述結構板的底面設置有沿環向延伸的第一凹槽；所述拋光板的上部設置有與所述第一凹槽匹配的凸起結構，所述凸起結構嵌入第一凹槽內；所述結構板的內圓部分設置支撐膜；所述支撐膜的邊緣沿徑向延伸并固定設置于結構板和拋光板之間；所述支撐膜的下方設置支撐墊；所述支撐墊的底面與晶圓的頂面接觸；所述拋光板的內圓側面與晶圓的側面接觸。本實用新型提供的保持環能夠有效固定晶圓并使其與拋光墊緊密貼合，有利于提高晶圓的去除率和拋光均勻性，并且拋光過程中具有良好的穩定性。
本實用新型一種拋光頭用保持環在權利要求書中公布了：1.一種拋光頭用保持環，其特征在于，所述保持環包括結構板、支撐膜、支撐墊和拋光板； 所述結構板和拋光板均為環狀且同軸設置； 所述結構板的底面設置有沿環向延伸的第一凹槽； 所述拋光板的上部設置有與所述第一凹槽匹配的凸起結構，所述凸起結構嵌入第一凹槽內； 所述結構板的內圓部分設置支撐膜； 所述支撐膜的邊緣沿徑向延伸并固定設置于結構板和拋光板之間； 所述支撐膜的下方設置支撐墊； 所述支撐墊的底面與晶圓的頂面接觸； 所述拋光板的內圓側面與晶圓的側面接觸。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人寧波潤平電子材料有限公司，其通訊地址為：315400 浙江省寧波市余姚市鳳山街道兵馬司路1608號403室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
以上內容由AI智能生成
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號