買(mǎi)專(zhuān)利賣(mài)專(zhuān)利找龍圖騰，真高效！ 查專(zhuān)利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專(zhuān)利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉優(yōu)貝克科技股份有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利能抑制變形的遮護(hù)板獲國(guó)家實(shí)用新型專(zhuān)利權(quán)，本實(shí)用新型專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223255388U 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202422511903.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/34；該實(shí)用新型能抑制變形的遮護(hù)板是由楊雅薇設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-10-17向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本能抑制變形的遮護(hù)板在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：一種能抑制變形的遮護(hù)板，適用于覆蓋濺鍍機(jī)臺(tái)的腔室內(nèi)的載臺(tái)，所述載臺(tái)用以承載待濺鍍的基板。所述能抑制變形的遮護(hù)板包含板體。所述板體包括下表面，及沿軸線相反于所述下表面的上表面。所述上表面上形成多個(gè)同心地圍繞所述軸線且沿徑向間隔設(shè)置的環(huán)形溝槽。通過(guò)于所述板體的上表面上形成所述同心地圍繞所述軸線且沿徑向間隔設(shè)置的環(huán)形溝槽，能分散所述遮護(hù)板上薄膜的應(yīng)力，減緩因薄膜的應(yīng)力產(chǎn)生的翹曲變形。

本實(shí)用新型能抑制變形的遮護(hù)板在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種能抑制變形的遮護(hù)板，適用于覆蓋濺鍍機(jī)臺(tái)的腔室內(nèi)的載臺(tái)，所述載臺(tái)用以承載待濺鍍的基板，所述能抑制變形的遮護(hù)板包含板體；其特征在于：所述板體包括下表面，及沿軸線相反于所述下表面的上表面，所述上表面上形成多個(gè)同心地圍繞所述軸線且沿徑向間隔設(shè)置的環(huán)形溝槽。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類(lèi)似專(zhuān)利技術(shù)，可聯(lián)系本專(zhuān)利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人優(yōu)貝克科技股份有限公司，其通訊地址為：中國(guó)臺(tái)灣新竹市；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。