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          • 蝕刻方法包括蝕刻工序,在該蝕刻工序中,向在表面形成有硅層的基板供給含鹵素的氣體和胺氣來對所述硅層進(jìn)行蝕刻。
          • 本發(fā)明提供半導(dǎo)體處理工具的改良,其以可用于產(chǎn)生可接著流至半導(dǎo)體晶圓上的等離子體的射頻透射圓頂結(jié)構(gòu)為特征。此類改良可包括被配置成冷卻此類圓頂結(jié)構(gòu)的冷卻系統(tǒng)。冷卻系統(tǒng)可在至少兩個(gè)不同冷卻模式之間切換—一者是冷卻系統(tǒng)以第一速率冷卻圓頂結(jié)構(gòu),而另一...
          • 本發(fā)明涉及一種用于確定電差分電流的傳感器,其包括磁場敏感部件、第一主繞組和測試?yán)@組,其中,傳感器被構(gòu)造成使得第一主繞組可以被施加頻率至少為10kHz的周期性電流或周期性電壓。本發(fā)明還涉及一種傳感器組件、一種斷路器、一種充電電纜和一種充電站,...
          • 本公開涉及一種用于電接觸組件的盲鉚釘緊固件(1),包括:鉚釘軸,所述鉚釘軸包括與所述盲鉚釘緊固件(1)的縱向中心軸線同軸地延伸并且具有外套筒表面的細(xì)長中空套筒以及在所述套筒的第一端沿徑向延伸的鉚釘頭(13);其中,所述鉚釘軸包括構(gòu)造為刮擦至...
          • 公開了過濾介質(zhì)、制造方法和過濾器。該過濾介質(zhì)包括可熱分裂纖維,以減小過濾介質(zhì)內(nèi)纖維的至少一些組分的纖維尺寸。這種減小的纖維尺寸提高了這類過濾器捕獲污染物(特別是那些尺寸范圍為約0.1至約10微米的污染物)的總體效率,而不損害過濾器的其他重要...
          • 本發(fā)明涉及一種聚酯樹脂、其制造方法以及由其制成的制品。具體地,該聚酯樹脂的制造方法包括以下步驟:(1)制備包括第一二醇組分和酸組分的反應(yīng)原料;(2)使所述反應(yīng)原料進(jìn)行初級酯化反應(yīng)得到第一反應(yīng)物;以及(3)使所述第一反應(yīng)物進(jìn)行二級酯化反應(yīng)得到...
          • 本發(fā)明提供了具有通式(I)的新穎衍生物,
          • 裝置(1),所述裝置具有可運(yùn)動的傳遞元件(2)和用于有針對性地影響傳遞元件(2)的執(zhí)行器設(shè)備(300)。執(zhí)行器設(shè)備(300)包括用于產(chǎn)生作用到傳遞元件(2)上的制動力矩的磁流變制動設(shè)備(301)和用于產(chǎn)生作用到傳遞元件(2)上的轉(zhuǎn)矩的驅(qū)動設(shè)...
          • 一種用于流體處理的渦輪加熱機(jī),包括:外部殼體;轉(zhuǎn)子;第一能量施加級,其包括設(shè)置成聯(lián)接到所述軸的帶葉片葉輪盤,所述葉輪盤接收過程流體并在能量施加步驟中增加所述過程流體的動能的第一量;擴(kuò)壓器,其用于將在所述能量施加級中施加到所述過程流體的動能轉(zhuǎn)...
          • 本申請公開了碳捕獲系統(tǒng)、裝置及其方法。根據(jù)一方面,提供了一種電容式碳捕獲系統(tǒng),其包括:碳捕獲模塊。碳捕獲模塊包括:第一集電器;與第一集電器間隔開的第二集電器;第一碳捕獲單元和第二碳捕獲單元;和在它們之間延伸的阻擋件。第一碳捕獲單元和第二碳捕...
          • 披露了一種手術(shù)機(jī)器人系統(tǒng),該手術(shù)機(jī)器人系統(tǒng)包括機(jī)械臂以及用于手術(shù)程序的器械。該器械包括聯(lián)接件、驅(qū)動桿、彈簧和一對相對的夾爪。機(jī)械臂包括具有馬達(dá)、扭矩傳感器和位置傳感器的器械驅(qū)動單元。該系統(tǒng)的控制器被配置為致動馬達(dá)以使夾爪移動到閉合位置并從傳...
          • 用于測量子宮內(nèi)參數(shù)的設(shè)備(1),包括:?可至少部分插入患者子宮的至少一個(gè)探頭(2),該探頭包括適配成向子宮發(fā)射電磁輻射的發(fā)射裝置(2a)以及適配成接收來自子宮的反射和/或散射電磁輻射的接收裝置(2b);以及?與探頭(2)連接的光學(xué)檢測裝置(...
          • 馬達(dá)轉(zhuǎn)子具備:配置于旋轉(zhuǎn)軸的周圍的圓筒狀的永久磁鐵、和配置于永久磁鐵的周圍的圓筒狀的保護(hù)環(huán),將永久磁鐵和保護(hù)環(huán)一體地?zé)Y(jié)。
          • 本公開的電池(100)具備正極(23)、負(fù)極(26)、隔膜(27)和電解液(29),正極(23)包含具有反螢石型晶體結(jié)構(gòu)且固溶有過渡金屬的氧化鋰作為正極活性物質(zhì),電解液(29)包含氟化環(huán)狀酯和其他溶劑的混合溶劑,電解液(29)中的氟化環(huán)狀酯...
          • 正極(23)包含具有反螢石型晶體結(jié)構(gòu)且固溶有過渡金屬的氧化鋰,電解液(29)包含硼化合物,硼化合物包含選自由式(1)表示的化合物和由式(2)表示的化合物中的至少一者。R1~R6相互獨(dú)立地為至少1個(gè)...
          • 本公開的正極活性物質(zhì)是包含具有反螢石型晶體結(jié)構(gòu)且固溶有過渡金屬M(fèi)1的氧化鋰和含有過渡金屬M(fèi)2的過渡金屬氧化物的正極活性物質(zhì),在使用Cu?Kα射線測定的X射線衍射圖案中,在52°~62°的衍射角2θ的范圍內(nèi)存在的歸屬于氧化鋰的(220)面的第...
          • 本發(fā)明涉及一種用于從層堆疊(1)剝離半導(dǎo)體層(4)的方法,該方法包括以下步驟:A)提供至少三層的層堆疊(1),其中第一層由晶種基底(2)形成,第二層由形成于該晶種基底(2)上的分離層(3)形成,并且第三層由優(yōu)選外延地形成在該分離層(3)上的...
          • 一種用于閘閥(10)中的潤滑密封布置,所述閘閥包含兩個(gè)環(huán)形構(gòu)件(70、72),每個(gè)環(huán)形構(gòu)件構(gòu)造有潤滑通道,以在所述閥的閘(36)在兩個(gè)鄰近定位的環(huán)形構(gòu)件之間移動時(shí)將潤滑流體引導(dǎo)到所述閘。
          • 提供一種能夠進(jìn)一步提高安全性的真空泵。一種具備設(shè)置有吸氣口(101)及排氣口(133)中的至少排氣口(133)的殼體(215),以及使殼體(215)及排氣口(133)中的至少殼體(215)的一部分成為高溫的加熱器(148)的渦輪分子泵(10...
          • 本公開描述了一種處理柜(10),包括圍出處理空間(30)的四個(gè)側(cè)壁、頂部(20)和底部(22),其中至少一個(gè)側(cè)壁是可打開的,允許進(jìn)入處理空間,其中兩個(gè)噴射設(shè)備(32)布置在側(cè)壁的面向處理空間(30)的內(nèi)側(cè)上,所述噴射設(shè)備(32)每個(gè)包括彎曲...
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