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          微觀裝置的制造及其處理技術
          • 本發明涉及一種保證MEMS高質量貼蓋的改進方法,包括以下步驟:壓塊矯正工藝:利用壓塊壓住基板,并將壓塊和基板放在高溫環境下進行烘烤;激光印標記:利用高精度的激光印字機在基板上的每個產品單元的四周印上激光標記;自動畫膠水和自動貼蓋:利用畫膠機...
          • 本實用新型公開了一種具有新型夾層結構的禮品盒,包括盒體,盒體背面的頂部鉸接有盒蓋,盒體的內部設有夾層料框,盒蓋內壁的中部連接有海綿塊,夾層料框底部的兩側均連接有墊腳,墊腳與盒體內壁的底部連接,盒體內壁兩側的頂部和盒體內壁兩側的底部均連接有褶...
          • 一種電容式芯片結構屬于微機電系統(MEMS)技術領域,尤其涉及一種電容式芯片結構。本實用新型提供一種性能更好的電容式芯片結構。本實用新型包括上極板(02)、下極板(01)、腔體(05)、中部支撐(04)和側部支撐(03),側部支撐(03)與...
          • 本發明涉及傳感器芯片集成技術領域,具體地說,涉及復合敏感傳感器芯片集成與封裝自動化系統。其包括位置布局單元、距離噪聲單元、干擾優化單元和集成封裝單元。本發明的芯片布局模塊通過視覺技術獲取硅片、壓力、流量和溫度傳感器芯片的尺寸與壓力、流量和溫...
          • 本申請公開了一種壓蓋裝置,包括有操作臺以及設置在操作臺上的定蓋座,所述定蓋座上開設有用于限位糖果盒的限位槽,所述操作臺上設置有支架,所述支架上設置有升降機構,所述升降機構上連接有壓塊,所述壓塊在升降機構的作用下向下運動以將上蓋扣緊在下蓋上。...
          • 本實用新型涉及汽車電子鎖技術領域,具體為一種用于汽車配件的雙向電子鎖,包括:左外殼、下殼、上殼、電機、鎖桿、傳動輪一、傳動輪二、蝸桿和壓簧,所述電機上開設有插接口用于插接傳輸電流,所述蝸桿過盈安裝在電機的輸出端,所述上殼和下殼之間設置有安裝...
          • 本申請一種多維度傳感器及其制備方法,包括:S100:提供基片;S200:在基片上設置第一傳感器;S300:在基片上涂布形成犧牲層;S400:去除部分犧牲層以形成若干隔離槽,隔離槽將部分基片暴露,隔離槽用以定義出第一功能區和第二功能區,第一傳...
          • 本申請提供一種聲學器件及其制備方法,涉及聲學傳感器技術領域,方法包括:在襯底的背面通過BOSCH工藝制作出空腔,其中,BOSCH工藝在作用于釋放層之前停止,BOSCH工藝包括交替進行的刻蝕步驟和沉積步驟;以釋放層作為停止層,采用非BOSCH...
          • 本實用新型公開了一種低溫轉運罐,包括轉運罐,轉運罐內設置有真空罐,真空罐上設置有隔冷件;隔冷件可對真空罐隔絕溫度傳導,真空罐可對樣本進行保溫;轉運罐可對樣本進行存儲轉運。本實用新型的有益效果為通過隔冷件將真空罐的保溫內層與保溫外層斷開,通過...
          • 本公開實施例公開了一種底托及包裝緩沖組件,涉及但不限于周轉運輸領域。底托包括本體及多個支撐柱。本體的第一表面設置有安裝槽,供馬桶主體的部分插接,以將智能馬桶固定于底托。并且第一表面設置有至少一個缺口,能夠沿安裝槽的周向外側增加安裝槽的空間,...
          • 本發明公開一種懸空異質薄膜的圖形化方法及壓力傳感器制備方法,該方法的所有步驟與當前CMOS工藝完全兼容,在無需額外定制設備的基礎上,可實現懸空二維材料結構的大規模流片制備以及成本削減;在方法實施過程中,二維材料全程被高分子支撐材料支撐和保護...
          • 本發明一種開關盒,包括底板,底板一側豎直配置有后側板,該后側板的左右兩側分別可轉動連接有罩蓋,所述底板上配置有中空的臺座,沿該臺座四周通過轉軸配置有若干開合件,所述臺座內配置有聯動機構,該聯動機構傳動連接開合件以及罩蓋,當罩蓋轉動打開時,聯...
          • 本發明涉及家具制備技術領域,提出了一種家具板材組裝家具制備用儲放裝置,包括儲放箱,還包括放置框,放置框設置在儲放箱的內部,放置框的內部設置有放置組件,用于對五金部件進行放置,放置組件與儲存箱的內底壁之間設置有升降組件,用于對五金組件更好的取...
          • 本公開涉及半導體器件、微機電系統和方法。示例提供了一種半導體器件。該半導體器件包括柔性元件,該柔性元件被配置為將聲波轉換為柔性元件的位移。半導體器件還包括與柔性元件間隔開并且面向柔性元件的層、以及被布置在柔性元件與層之間的防粘元件。防粘元件...
          • 本申請提供一種分層式包裝箱,涉及包裝箱技術領域,包括外箱和至少兩個內盒,所述外箱包括底板和兩個蓋板,兩個所述蓋板對稱設置于所述底板上,所述蓋板與所述底板轉動連接,且所述蓋板與所述底板可圍成容置腔,所述內盒堆疊放置于所述容置腔內;在使用時,將...
          • 本發明提供了一種雙傳感器微機電器件及其制備方法,屬于微機電器件技術領域。該雙傳感器微機電器件包括依次層疊布置的加速度計的金屬電極、頂部集成結構、電學隔離層、第一金屬鍵合環和紅外探測器;頂部集成結構包括晶圓基體,晶圓基體內設有第一腔體和第二腔...
          • 本實用新型公開了速熱多用途密封罐,包括外殼;外殼:其內部上端設有密封蓋,密封蓋的上側設有拉環,外殼的內部設有內殼,外殼的內部下端設有加熱殼,加熱殼的中部設有圓形隔板,加熱殼的底壁通過密封軸承轉動連接有轉軸,轉軸的外側中部通過密封軸承與圓形隔...
          • 一種MEMS器件及其制造方法,所述方法包括:提供頂蓋層,所述頂蓋層包括第一MEMS器件的區域和第二MEMS器件的區域,分別形成有第一凹槽和第二凹槽;在第一凹槽中形成氣體釋放層;將頂蓋層與第一基底的第一表面進行第一鍵合;對第一基底執行第一圖案...
          • 本實用新型公開了一種控制系統內外機打包用的包裝結構,所述包裝結構包括包裝箱體、頂蓋、底托,包裝箱體的上端開設有第一開口,包裝箱體的內部形成有放置控制系統內外機的容納空間,底托與包裝箱體的底部相固定以便支撐控制系統內外機,頂蓋覆蓋于包裝箱體上...
          • 本實用新型屬于窗框存放、運輸技術領域,具體的說是一種窗框成品放置架,包括底座和固定機構,所述底座用于放置窗框,所述固定機構包括擋架,所述擋架設置有兩個,一對所述擋架分別設置在底座兩側,所述擋架為鏤空設計,所述擋架表面通過調節機構設置有分隔板...
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