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                  		微觀裝置的制造及其處理技術
                  	
                  
          
                
          
                
          
                    
            
					
						
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								      本發明涉及半導體MEMS芯片工藝技術領域，尤其涉及一種MEMS芯片結構及刻蝕方法，芯片結構包括石英，石英表面形成金屬Cr，在金屬Cr表面形成無機化合物，無機化合物在金屬Cr上形成掩膜；刻蝕方法包括以下步驟：在金屬Cr上生長無機化合物后，首先...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請實施例公開了一種壓電器件制備工藝和壓電器件，壓電器件制備工藝先在襯底之上制備金屬底電極層、壓電材料層和金屬頂電極層，而后刻蝕所述金屬底電極層、壓電材料層和金屬頂電極層，以實現壓電圖形化，最后在釋放壓電器件的過程中，先刻蝕所述襯底的底硅...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明公開了一種在溶液中大面積排列一維磁性材料的方法，其關鍵是大面積平行磁場裝置的制備。該方法首先利用大面積平行磁場裝置將分散在溶液中的一維磁性材料按照平行磁場的方向有序的吸附并排列在所需基片上，然后在一定條件下去除溶液，從而實現大面積一維...
								
            
							
            
							
						
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								      本公開的各實施例涉及用于MEMS快門的角壓電致動器及其制造方法。一種MEMS致動器，包括主體，該主體具有中心部分和外圍部分，中心部分能夠耦合到襯底，外圍部分當中心部分耦合到襯底時懸掛在襯底上方。外圍部分具有圍繞中心部分延伸并形成連續布置的膜...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型涉及食品容器技術領域，具體為一種密閉式卡扣結構自加熱容器。包括外部容器、內部容器以及加熱套筒；外部容器包括底部殼體、中間殼體、頂部殼體以及頂蓋；加熱套筒設于底部殼體的內側，加熱套筒上安裝有多個電加熱絲，加熱套筒與底部殼體之間連接有...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型涉及乳霜紙存儲技術領域，公開了一種乳霜紙存儲盒，包括乳霜紙存儲倉、電控倉和加濕液倉，所述乳霜紙存儲倉內設置有滅菌燈、溫濕度傳感器、調溫裝置和加濕裝置，電控倉內設置有控制器，加濕液倉內設置有儲液裝置和泵液裝置，實現通過溫濕度傳感器監...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型公開了多功能抗震包裝裝置，具體涉及包裝箱技術領域，包括外箱體，所述外箱體的頂面轉動連接有頂蓋，所述外箱體的外側安裝有鎖緊裝置，所述頂蓋的頂面安裝有升降機構，所述頂蓋的底面滑動連接有固定板，且頂蓋通過升降機構驅動固定板滑動，所述固定...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明提供一種壓電PMUT及其制備方法，包括襯底，襯底具有相對的正面及背面，襯底正面形成壓電層，襯底貫穿開設背腔，在壓電層表面形成結構層，結構層的厚度大于壓電層中壓電薄膜的厚度，使中性面位于結構層橫向投影面積范圍內；結構層的振膜區域開設縫隙...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明涉及一種新型動磁鐵式電磁MEMS微鏡及其制造方法，包括線圈平臺、線圈，鏡面結構包括鏡面本體以及設置在鏡面本體上表面的磁鐵，磁鐵設置在線圈上方，鏡面本體包括框架以及設置在框架內部的鏡面平臺，鏡面平臺通過轉動軸與框架的內壁連接，磁鐵和線圈...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明公開了基于雙層電極協同刻蝕的MEMS變形鏡及其制備方法，屬于可變形鏡面結構的微納加工技術。該制備方法通過以下步驟實現：在襯底背面刻蝕對準標記；在硅片襯底正面沉積氮化硅絕緣層，打開背面溶液刻蝕窗口；依次完成雙層多晶硅電極的協同刻蝕，同步...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型涉及一種保溫箱，特別涉及一種帶吸盤裝置和掛鉤的保溫箱，包括箱體，箱體的背部設有用于懸掛于載體上的掛鉤裝置，掛鉤裝置上設有用于吸附于載體上的吸盤裝置，箱體通過掛鉤裝置和吸盤裝置的配合實現在載體上的限位固定，本實用新型在保溫箱的背部設...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明涉及聲激振液滴形微氣泡驅動的微流控芯片及制作工藝。通過微流控芯片結構設計獲得液滴形微氣泡陣列，微氣泡在聲波激勵下發生振蕩生成非對稱的聲流漩渦，進而對微流道中的微流體產生定向驅動的作用。通過調節驅動電壓可線性控制流速，具有非接觸、無污染...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請涉及壓力傳感器芯片技術領域，尤其涉及一種低應力硅基壓力傳感器芯片及加工方法，芯片包括：n型硅襯底、p型壓力敏感電阻、鈍化層、金屬電極層以及鍵合件；p型壓力敏感電阻設置在n型硅襯底頂部的電阻放置槽內；鈍化層包括二氧化硅層和氮化硅層，二氧...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請涉及壓力傳感器技術領域，尤其涉及一種低應力高溫壓力傳感器芯片及加工方法，低應力高溫壓力傳感器芯片包括碳化硅外延片、鈍化層、金屬電極層和碳化硅封接晶圓；碳化硅外延片中的n型碳化硅器件層、p型碳化硅隔離層和n型碳化硅襯底層由上到下依次連接...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型公開了一種手持防腐膠帶纏繞裝置，屬于防腐膠帶纏繞技術領域；其包括手持板，所述手持板上安裝有兩個對稱的夾板一，所述手持板上安裝有用于控制兩個夾板一的夾持組件；所述手持板上固定連接有支架一，所述支架一上轉動連接有轉軸二，所述轉軸二上安...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明提供一種單片MEMS壓力芯片的制備方法，它包括在SOI硅片的頂層硅上制備N+的埋層、淺腔的槽狀結構，將SOI硅片與雙拋硅片鍵合在一起，在雙拋硅片上制備介質隔離結構、集電區、基區，第一注入區和第二注入區，在基區上設置發射區，濺射出與第二...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型涉及新能源技術領域，公開了一種光伏邊框用防滑護角和光伏組件包裝結構，光伏邊框包括若干個框條，轉角相鄰的兩個框條在轉角處相連接；防滑護角包括承載板、以及轉角相連的第一側板和第二側板；第一側板和第二側板分別安裝于兩個框條的轉角相連的側...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型涉及物流倉儲設備的技術領域，具體而言，公開了一種具有除濕功能的倉儲設備包括：儲物架本體，儲物架本體上設置有若干層置物架，置物架包括：第一承載部件和第二承載部件，水平安裝于儲物架本體上；若干個承載柱，沿水平鋪設，兩端分別安裝于第一承...
								
            
							
            
							
						
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								      本公開提供一種側門鎖，其包括：鎖舌；棘爪組件，所述棘爪組件用于將鎖舌保持在鎖止位置和預鎖止位置；機械解鎖裝置，所述機械解鎖裝置能夠驅動所述棘爪組件動作，以當側門鎖應用于機動車時，能夠從機動車內部和機動車外部操作該機械解鎖裝置，從以便所述鎖舌...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請涉及一種高強度且環保的聚酰胺復合袋，屬于復合袋技術領域，包括聚酰胺復合袋本體，所述聚酰胺復合袋本體包括袋體和設置于袋體頂端用于密封的密封端；所述袋體由復合袋內層和復合袋外層組成；所述復合袋內層包括防腐蝕層、第一牛皮紙和高溫聚乙烯醇薄膜...
								
            
							
            
							
						
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