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          • 蝕刻方法包括蝕刻工序,在該蝕刻工序中,向在表面形成有硅層的基板供給含鹵素的氣體和胺氣來(lái)對(duì)所述硅層進(jìn)行蝕刻。
          • 本發(fā)明提供半導(dǎo)體處理工具的改良,其以可用于產(chǎn)生可接著流至半導(dǎo)體晶圓上的等離子體的射頻透射圓頂結(jié)構(gòu)為特征。此類(lèi)改良可包括被配置成冷卻此類(lèi)圓頂結(jié)構(gòu)的冷卻系統(tǒng)。冷卻系統(tǒng)可在至少兩個(gè)不同冷卻模式之間切換—一者是冷卻系統(tǒng)以第一速率冷卻圓頂結(jié)構(gòu),而另一...
          • 本發(fā)明涉及一種用于確定電差分電流的傳感器,其包括磁場(chǎng)敏感部件、第一主繞組和測(cè)試?yán)@組,其中,傳感器被構(gòu)造成使得第一主繞組可以被施加頻率至少為10kHz的周期性電流或周期性電壓。本發(fā)明還涉及一種傳感器組件、一種斷路器、一種充電電纜和一種充電站,...
          • 本公開(kāi)涉及一種用于電接觸組件的盲鉚釘緊固件(1),包括:鉚釘軸,所述鉚釘軸包括與所述盲鉚釘緊固件(1)的縱向中心軸線同軸地延伸并且具有外套筒表面的細(xì)長(zhǎng)中空套筒以及在所述套筒的第一端沿徑向延伸的鉚釘頭(13);其中,所述鉚釘軸包括構(gòu)造為刮擦至...
          • 公開(kāi)了過(guò)濾介質(zhì)、制造方法和過(guò)濾器。該過(guò)濾介質(zhì)包括可熱分裂纖維,以減小過(guò)濾介質(zhì)內(nèi)纖維的至少一些組分的纖維尺寸。這種減小的纖維尺寸提高了這類(lèi)過(guò)濾器捕獲污染物(特別是那些尺寸范圍為約0.1至約10微米的污染物)的總體效率,而不損害過(guò)濾器的其他重要...
          • 本發(fā)明涉及一種聚酯樹(shù)脂、其制造方法以及由其制成的制品。具體地,該聚酯樹(shù)脂的制造方法包括以下步驟:(1)制備包括第一二醇組分和酸組分的反應(yīng)原料;(2)使所述反應(yīng)原料進(jìn)行初級(jí)酯化反應(yīng)得到第一反應(yīng)物;以及(3)使所述第一反應(yīng)物進(jìn)行二級(jí)酯化反應(yīng)得到...
          • 本發(fā)明提供了具有通式(I)的新穎衍生物,
          • 裝置(1),所述裝置具有可運(yùn)動(dòng)的傳遞元件(2)和用于有針對(duì)性地影響傳遞元件(2)的執(zhí)行器設(shè)備(300)。執(zhí)行器設(shè)備(300)包括用于產(chǎn)生作用到傳遞元件(2)上的制動(dòng)力矩的磁流變制動(dòng)設(shè)備(301)和用于產(chǎn)生作用到傳遞元件(2)上的轉(zhuǎn)矩的驅(qū)動(dòng)設(shè)...
          • 一種用于流體處理的渦輪加熱機(jī),包括:外部殼體;轉(zhuǎn)子;第一能量施加級(jí),其包括設(shè)置成聯(lián)接到所述軸的帶葉片葉輪盤(pán),所述葉輪盤(pán)接收過(guò)程流體并在能量施加步驟中增加所述過(guò)程流體的動(dòng)能的第一量;擴(kuò)壓器,其用于將在所述能量施加級(jí)中施加到所述過(guò)程流體的動(dòng)能轉(zhuǎn)...
          • 本申請(qǐng)公開(kāi)了碳捕獲系統(tǒng)、裝置及其方法。根據(jù)一方面,提供了一種電容式碳捕獲系統(tǒng),其包括:碳捕獲模塊。碳捕獲模塊包括:第一集電器;與第一集電器間隔開(kāi)的第二集電器;第一碳捕獲單元和第二碳捕獲單元;和在它們之間延伸的阻擋件。第一碳捕獲單元和第二碳捕...
          • 披露了一種手術(shù)機(jī)器人系統(tǒng),該手術(shù)機(jī)器人系統(tǒng)包括機(jī)械臂以及用于手術(shù)程序的器械。該器械包括聯(lián)接件、驅(qū)動(dòng)桿、彈簧和一對(duì)相對(duì)的夾爪。機(jī)械臂包括具有馬達(dá)、扭矩傳感器和位置傳感器的器械驅(qū)動(dòng)單元。該系統(tǒng)的控制器被配置為致動(dòng)馬達(dá)以使夾爪移動(dòng)到閉合位置并從傳...
          • 用于測(cè)量子宮內(nèi)參數(shù)的設(shè)備(1),包括:?可至少部分插入患者子宮的至少一個(gè)探頭(2),該探頭包括適配成向子宮發(fā)射電磁輻射的發(fā)射裝置(2a)以及適配成接收來(lái)自子宮的反射和/或散射電磁輻射的接收裝置(2b);以及?與探頭(2)連接的光學(xué)檢測(cè)裝置(...
          • 馬達(dá)轉(zhuǎn)子具備:配置于旋轉(zhuǎn)軸的周?chē)膱A筒狀的永久磁鐵、和配置于永久磁鐵的周?chē)膱A筒狀的保護(hù)環(huán),將永久磁鐵和保護(hù)環(huán)一體地?zé)Y(jié)。
          • 本公開(kāi)的電池(100)具備正極(23)、負(fù)極(26)、隔膜(27)和電解液(29),正極(23)包含具有反螢石型晶體結(jié)構(gòu)且固溶有過(guò)渡金屬的氧化鋰作為正極活性物質(zhì),電解液(29)包含氟化環(huán)狀酯和其他溶劑的混合溶劑,電解液(29)中的氟化環(huán)狀酯...
          • 正極(23)包含具有反螢石型晶體結(jié)構(gòu)且固溶有過(guò)渡金屬的氧化鋰,電解液(29)包含硼化合物,硼化合物包含選自由式(1)表示的化合物和由式(2)表示的化合物中的至少一者。R1~R6相互獨(dú)立地為至少1個(gè)...
          • 本公開(kāi)的正極活性物質(zhì)是包含具有反螢石型晶體結(jié)構(gòu)且固溶有過(guò)渡金屬M(fèi)1的氧化鋰和含有過(guò)渡金屬M(fèi)2的過(guò)渡金屬氧化物的正極活性物質(zhì),在使用Cu?Kα射線測(cè)定的X射線衍射圖案中,在52°~62°的衍射角2θ的范圍內(nèi)存在的歸屬于氧化鋰的(220)面的第...
          • 本發(fā)明涉及一種用于從層堆疊(1)剝離半導(dǎo)體層(4)的方法,該方法包括以下步驟:A)提供至少三層的層堆疊(1),其中第一層由晶種基底(2)形成,第二層由形成于該晶種基底(2)上的分離層(3)形成,并且第三層由優(yōu)選外延地形成在該分離層(3)上的...
          • 一種用于閘閥(10)中的潤(rùn)滑密封布置,所述閘閥包含兩個(gè)環(huán)形構(gòu)件(70、72),每個(gè)環(huán)形構(gòu)件構(gòu)造有潤(rùn)滑通道,以在所述閥的閘(36)在兩個(gè)鄰近定位的環(huán)形構(gòu)件之間移動(dòng)時(shí)將潤(rùn)滑流體引導(dǎo)到所述閘。
          • 提供一種能夠進(jìn)一步提高安全性的真空泵。一種具備設(shè)置有吸氣口(101)及排氣口(133)中的至少排氣口(133)的殼體(215),以及使殼體(215)及排氣口(133)中的至少殼體(215)的一部分成為高溫的加熱器(148)的渦輪分子泵(10...
          • 本公開(kāi)描述了一種處理柜(10),包括圍出處理空間(30)的四個(gè)側(cè)壁、頂部(20)和底部(22),其中至少一個(gè)側(cè)壁是可打開(kāi)的,允許進(jìn)入處理空間,其中兩個(gè)噴射設(shè)備(32)布置在側(cè)壁的面向處理空間(30)的內(nèi)側(cè)上,所述噴射設(shè)備(32)每個(gè)包括彎曲...
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