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								      本發(fā)明涉及半導(dǎo)體刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種半導(dǎo)體膜層的刻蝕方法及半導(dǎo)體工藝設(shè)備。其中，所述方法包括：主刻蝕步，向工藝腔室內(nèi)通入工藝氣體并激發(fā)產(chǎn)生等離子體，對(duì)附著于深槽結(jié)構(gòu)的表層及內(nèi)壁上部的目標(biāo)膜層進(jìn)行刻蝕；沉積步，在深槽結(jié)構(gòu)的表層氧化...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備；該半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括工藝槽、晶圓承載裝置和鼓泡裝置，晶圓承載裝置具有多個(gè)沿第一方向間隔設(shè)置的晶圓承載部，鼓泡裝置包括多個(gè)沿預(yù)設(shè)軌跡平行間隔設(shè)置的第一鼓泡管道，預(yù)設(shè)軌跡為開口朝上的凹...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請(qǐng)涉及一種固體氧化物燃料電池發(fā)電系統(tǒng)及其運(yùn)行方法，包括SOFC電堆模組、第一催化部分氧化反應(yīng)器、第二催化部分氧化反應(yīng)器、催化燃燒器、循環(huán)風(fēng)機(jī)、循環(huán)尾氣冷卻器、第一燃料換熱器、重整器、第二燃料換熱器、脫硫器、風(fēng)機(jī)、空氣換熱器、第一電控閥、...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請(qǐng)涉及一種具備二氧化碳捕集功能的SOFC發(fā)電系統(tǒng)及其運(yùn)行方法，該系統(tǒng)包括陽(yáng)極支撐SOFC電堆模組、電解質(zhì)支撐SOFC電堆模組、發(fā)熱電阻、啟動(dòng)燃燒器、蒸汽發(fā)生器、重整器、燃料預(yù)熱器、風(fēng)機(jī)、空氣預(yù)熱器、冷凝器、水泵、第一截止閥、第二截止閥、...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明屬于電池領(lǐng)域，具體涉及一種鈉金屬電池及其電解液，所述的電解液為包含式1
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及一種疊片方法、疊片裝置及疊片設(shè)備，疊片時(shí)先將多個(gè)隔膜料帶共同引導(dǎo)至疊片臺(tái)，由于相鄰兩個(gè)隔膜料帶之間即可插入一個(gè)極片，故多個(gè)隔膜料帶之間能夠同時(shí)插入多個(gè)極片。在帶動(dòng)多個(gè)隔膜料帶在疊片臺(tái)上Z形鋪設(shè)的過(guò)程中，多個(gè)隔膜料帶每彎折一次便在相...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N電池包。電池包包括箱體、液冷板和泵，箱體內(nèi)設(shè)有電池模組及浸沒(méi)電池模組的浸沒(méi)液；液冷板包括設(shè)置于箱體內(nèi)的液冷主體和與液冷主體連通的進(jìn)液管嘴和出液管嘴，液冷主體與浸沒(méi)液接觸，進(jìn)液管嘴和出液管嘴與箱體的外部連通，泵設(shè)置于箱體內(nèi)，泵用...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N電池包。電池包包括箱體和液冷管，箱體內(nèi)設(shè)有電池模組及浸沒(méi)電池模組的浸沒(méi)液；液冷管包括設(shè)置于箱體內(nèi)的液冷主體和與液冷主體連通的進(jìn)液管嘴和出液管嘴，液冷主體與浸沒(méi)液接觸，進(jìn)液管嘴和出液管嘴與箱體的外部連通。通過(guò)在箱體內(nèi)設(shè)置浸沒(méi)液，...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及一種具有質(zhì)心補(bǔ)償?shù)慕鹗种高B接結(jié)構(gòu)及方法，金手指連接結(jié)構(gòu)包括底面設(shè)有與主板PCB插接的導(dǎo)電接駁部的承載基板、設(shè)于基板背面的質(zhì)心調(diào)控凹槽、設(shè)于基板側(cè)邊的彈性約束機(jī)構(gòu)安裝部以及連接安裝部與主板PCB的多向彈性約束機(jī)構(gòu)；質(zhì)心調(diào)控凹槽構(gòu)造為...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及高壓電纜技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種柔性新能源汽車鋁合金電纜，包括高壓線組，還包括冷卻單元和循環(huán)單元；所述冷卻單元包括固定連接在高壓線組上的液管組件；所述液管組件包括固定連接在高壓線組上的端子，固定連接在端子上的外殼體，固定連接在外殼體...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明公開了一種電氣化鐵路柔性牽引供電光儲(chǔ)一體化容量配置方法及裝置，包括：基于柔性牽引變電所日運(yùn)行模型以及總年化投資成本模型，以總年化投資成本與年總運(yùn)行成本之和最小為目標(biāo)，結(jié)合約束條件，建立基于光伏、混合儲(chǔ)能系統(tǒng)以及背靠背變流器一體化容量?jī)?yōu)...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及電場(chǎng)無(wú)線傳能技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基于倍壓整流器的高頻電場(chǎng)無(wú)線傳能系統(tǒng)，包括依次連接的直流電源、原級(jí)高頻逆變器、電能發(fā)射端諧振網(wǎng)絡(luò)、耦合機(jī)構(gòu)、電能接收端諧振網(wǎng)絡(luò)、倍壓整流器、濾波電容和負(fù)載；倍壓整流器包括若干個(gè)帶電容隔離的D類諧振...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及無(wú)線電能傳輸技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種應(yīng)用于高頻傳輸?shù)碾妶?chǎng)耦合式無(wú)線充電系統(tǒng)，包括發(fā)射端和接收端，所述發(fā)射端包括依次連接的電網(wǎng)電源、逆變器、原邊諧振電路和發(fā)射極板，所述接收端包括依次連接的接收極板、副邊諧振電路、次級(jí)整流器和負(fù)載；所述...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明提供了一種機(jī)器人用帶自鎖結(jié)構(gòu)的空杯電機(jī)，屬于智能機(jī)器人技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明通過(guò)將轉(zhuǎn)子軸的一端延伸至后端蓋的制動(dòng)腔內(nèi)，并于制動(dòng)腔內(nèi)設(shè)置有若干沿轉(zhuǎn)子軸徑向布置的自鎖部，每一自鎖部均包括壓電陶瓷柱和摩擦片，并將摩擦片設(shè)置于壓電陶瓷柱和轉(zhuǎn)子軸之間...
								
            
							
            
							
						
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								      一種基于雙實(shí)值輸入Volterra級(jí)數(shù)的相干信道預(yù)均衡優(yōu)化方法、裝置、設(shè)備及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，包括：通過(guò)將獲取到的目標(biāo)信道對(duì)輸入信號(hào)進(jìn)行處理后的輸出信號(hào)進(jìn)行分離，得到所述輸出信號(hào)中I路對(duì)應(yīng)的實(shí)部和Q路對(duì)應(yīng)的虛部，其中，所述I路對(duì)應(yīng)的實(shí)部和...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請(qǐng)公開了一種判決反饋均衡器及芯片。該判決反饋均衡器包括第一加法模塊、采樣模塊、延時(shí)模塊、第二加法模塊和電流輸出模塊，電流輸出模塊用于生成第一偏置電流，對(duì)第一偏置電流按可調(diào)節(jié)的分流比例進(jìn)行分流處理以生成第二偏置電流和第三偏置電流，并將第二...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及一種監(jiān)控平臺(tái)及其統(tǒng)一配置管理的實(shí)現(xiàn)方法，屬于電力設(shè)備控制技術(shù)領(lǐng)域。該方法通過(guò)部署包含多個(gè)服務(wù)器的集群，并在其中一個(gè)服務(wù)器中配置統(tǒng)一配置管理工具，在各服務(wù)器中配置獲取模塊，實(shí)現(xiàn)各個(gè)服務(wù)器與集群中的數(shù)據(jù)中心的數(shù)據(jù)交互，服務(wù)器通過(guò)統(tǒng)一配...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明屬于網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)采集技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種分布式網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，包括數(shù)據(jù)采集模塊，數(shù)據(jù)采集模塊包括Feeder子模塊、Crawler子模塊和Monitor子模塊；數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊包括頻道信息表、帖子信息表、評(píng)論信息表以及發(fā)布者...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明提供一種可編程網(wǎng)絡(luò)設(shè)備的在線動(dòng)態(tài)編程方法、系統(tǒng)及存儲(chǔ)介質(zhì)，包括：控制終端調(diào)用網(wǎng)絡(luò)服務(wù)函數(shù)定義生成網(wǎng)絡(luò)服務(wù)指令序列；基于網(wǎng)絡(luò)服務(wù)指令序列和自定義協(xié)議結(jié)構(gòu)構(gòu)建自定義協(xié)議頭插入到IP數(shù)據(jù)包中，并在IP數(shù)據(jù)包的類型字段標(biāo)注當(dāng)前數(shù)據(jù)包屬于通常數(shù)...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明實(shí)施例公開了一種數(shù)據(jù)傳輸方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備和計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)。本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)發(fā)送設(shè)備生成攜帶優(yōu)先級(jí)參數(shù)和數(shù)據(jù)接收設(shè)備的設(shè)備地址的數(shù)據(jù)包，并根據(jù)優(yōu)先級(jí)參數(shù)確定數(shù)據(jù)包的發(fā)送間隔和/或發(fā)送次數(shù)，進(jìn)而按照該間隔和/或該次數(shù)發(fā)送數(shù)據(jù)包，...
								
            
							
            
							
						
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