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								      本發(fā)明涉及半導(dǎo)體刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種半導(dǎo)體膜層的刻蝕方法及半導(dǎo)體工藝設(shè)備。其中，所述方法包括：主刻蝕步，向工藝腔室內(nèi)通入工藝氣體并激發(fā)產(chǎn)生等離子體，對附著于深槽結(jié)構(gòu)的表層及內(nèi)壁上部的目標(biāo)膜層進(jìn)行刻蝕；沉積步，在深槽結(jié)構(gòu)的表層氧化...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種半導(dǎo)體工藝設(shè)備；該半導(dǎo)體工藝設(shè)備包括工藝槽、晶圓承載裝置和鼓泡裝置，晶圓承載裝置具有多個沿第一方向間隔設(shè)置的晶圓承載部，鼓泡裝置包括多個沿預(yù)設(shè)軌跡平行間隔設(shè)置的第一鼓泡管道，預(yù)設(shè)軌跡為開口朝上的凹...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請涉及一種固體氧化物燃料電池發(fā)電系統(tǒng)及其運(yùn)行方法，包括SOFC電堆模組、第一催化部分氧化反應(yīng)器、第二催化部分氧化反應(yīng)器、催化燃燒器、循環(huán)風(fēng)機(jī)、循環(huán)尾氣冷卻器、第一燃料換熱器、重整器、第二燃料換熱器、脫硫器、風(fēng)機(jī)、空氣換熱器、第一電控閥、...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請涉及一種具備二氧化碳捕集功能的SOFC發(fā)電系統(tǒng)及其運(yùn)行方法，該系統(tǒng)包括陽極支撐SOFC電堆模組、電解質(zhì)支撐SOFC電堆模組、發(fā)熱電阻、啟動燃燒器、蒸汽發(fā)生器、重整器、燃料預(yù)熱器、風(fēng)機(jī)、空氣預(yù)熱器、冷凝器、水泵、第一截止閥、第二截止閥、...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明屬于電池領(lǐng)域，具體涉及一種鈉金屬電池及其電解液，所述的電解液為包含式1
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及一種疊片方法、疊片裝置及疊片設(shè)備，疊片時先將多個隔膜料帶共同引導(dǎo)至疊片臺，由于相鄰兩個隔膜料帶之間即可插入一個極片，故多個隔膜料帶之間能夠同時插入多個極片。在帶動多個隔膜料帶在疊片臺上Z形鋪設(shè)的過程中，多個隔膜料帶每彎折一次便在相...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請?zhí)峁┮环N電池包。電池包包括箱體、液冷板和泵，箱體內(nèi)設(shè)有電池模組及浸沒電池模組的浸沒液；液冷板包括設(shè)置于箱體內(nèi)的液冷主體和與液冷主體連通的進(jìn)液管嘴和出液管嘴，液冷主體與浸沒液接觸，進(jìn)液管嘴和出液管嘴與箱體的外部連通，泵設(shè)置于箱體內(nèi)，泵用...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請?zhí)峁┮环N電池包。電池包包括箱體和液冷管，箱體內(nèi)設(shè)有電池模組及浸沒電池模組的浸沒液；液冷管包括設(shè)置于箱體內(nèi)的液冷主體和與液冷主體連通的進(jìn)液管嘴和出液管嘴，液冷主體與浸沒液接觸，進(jìn)液管嘴和出液管嘴與箱體的外部連通。通過在箱體內(nèi)設(shè)置浸沒液，...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及一種具有質(zhì)心補(bǔ)償?shù)慕鹗种高B接結(jié)構(gòu)及方法，金手指連接結(jié)構(gòu)包括底面設(shè)有與主板PCB插接的導(dǎo)電接駁部的承載基板、設(shè)于基板背面的質(zhì)心調(diào)控凹槽、設(shè)于基板側(cè)邊的彈性約束機(jī)構(gòu)安裝部以及連接安裝部與主板PCB的多向彈性約束機(jī)構(gòu)；質(zhì)心調(diào)控凹槽構(gòu)造為...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及高壓電纜技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種柔性新能源汽車鋁合金電纜，包括高壓線組，還包括冷卻單元和循環(huán)單元；所述冷卻單元包括固定連接在高壓線組上的液管組件；所述液管組件包括固定連接在高壓線組上的端子，固定連接在端子上的外殼體，固定連接在外殼體...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明公開了一種電氣化鐵路柔性牽引供電光儲一體化容量配置方法及裝置，包括：基于柔性牽引變電所日運(yùn)行模型以及總年化投資成本模型，以總年化投資成本與年總運(yùn)行成本之和最小為目標(biāo)，結(jié)合約束條件，建立基于光伏、混合儲能系統(tǒng)以及背靠背變流器一體化容量優(yōu)...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及電場無線傳能技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基于倍壓整流器的高頻電場無線傳能系統(tǒng)，包括依次連接的直流電源、原級高頻逆變器、電能發(fā)射端諧振網(wǎng)絡(luò)、耦合機(jī)構(gòu)、電能接收端諧振網(wǎng)絡(luò)、倍壓整流器、濾波電容和負(fù)載；倍壓整流器包括若干個帶電容隔離的D類諧振...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及無線電能傳輸技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種應(yīng)用于高頻傳輸?shù)碾妶鲴詈鲜綗o線充電系統(tǒng)，包括發(fā)射端和接收端，所述發(fā)射端包括依次連接的電網(wǎng)電源、逆變器、原邊諧振電路和發(fā)射極板，所述接收端包括依次連接的接收極板、副邊諧振電路、次級整流器和負(fù)載；所述...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明提供了一種機(jī)器人用帶自鎖結(jié)構(gòu)的空杯電機(jī)，屬于智能機(jī)器人技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明通過將轉(zhuǎn)子軸的一端延伸至后端蓋的制動腔內(nèi)，并于制動腔內(nèi)設(shè)置有若干沿轉(zhuǎn)子軸徑向布置的自鎖部，每一自鎖部均包括壓電陶瓷柱和摩擦片，并將摩擦片設(shè)置于壓電陶瓷柱和轉(zhuǎn)子軸之間...
								
            
							
            
							
						
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								      一種基于雙實值輸入Volterra級數(shù)的相干信道預(yù)均衡優(yōu)化方法、裝置、設(shè)備及計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)，包括：通過將獲取到的目標(biāo)信道對輸入信號進(jìn)行處理后的輸出信號進(jìn)行分離，得到所述輸出信號中I路對應(yīng)的實部和Q路對應(yīng)的虛部，其中，所述I路對應(yīng)的實部和...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請公開了一種判決反饋均衡器及芯片。該判決反饋均衡器包括第一加法模塊、采樣模塊、延時模塊、第二加法模塊和電流輸出模塊，電流輸出模塊用于生成第一偏置電流，對第一偏置電流按可調(diào)節(jié)的分流比例進(jìn)行分流處理以生成第二偏置電流和第三偏置電流，并將第二...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及一種監(jiān)控平臺及其統(tǒng)一配置管理的實現(xiàn)方法，屬于電力設(shè)備控制技術(shù)領(lǐng)域。該方法通過部署包含多個服務(wù)器的集群，并在其中一個服務(wù)器中配置統(tǒng)一配置管理工具，在各服務(wù)器中配置獲取模塊，實現(xiàn)各個服務(wù)器與集群中的數(shù)據(jù)中心的數(shù)據(jù)交互，服務(wù)器通過統(tǒng)一配...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明屬于網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)采集技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種分布式網(wǎng)絡(luò)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，包括數(shù)據(jù)采集模塊，數(shù)據(jù)采集模塊包括Feeder子模塊、Crawler子模塊和Monitor子模塊；數(shù)據(jù)存儲模塊，數(shù)據(jù)存儲模塊包括頻道信息表、帖子信息表、評論信息表以及發(fā)布者...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明提供一種可編程網(wǎng)絡(luò)設(shè)備的在線動態(tài)編程方法、系統(tǒng)及存儲介質(zhì)，包括：控制終端調(diào)用網(wǎng)絡(luò)服務(wù)函數(shù)定義生成網(wǎng)絡(luò)服務(wù)指令序列；基于網(wǎng)絡(luò)服務(wù)指令序列和自定義協(xié)議結(jié)構(gòu)構(gòu)建自定義協(xié)議頭插入到IP數(shù)據(jù)包中，并在IP數(shù)據(jù)包的類型字段標(biāo)注當(dāng)前數(shù)據(jù)包屬于通常數(shù)...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明實施例公開了一種數(shù)據(jù)傳輸方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備和計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)。本發(fā)明實施例的數(shù)據(jù)發(fā)送設(shè)備生成攜帶優(yōu)先級參數(shù)和數(shù)據(jù)接收設(shè)備的設(shè)備地址的數(shù)據(jù)包，并根據(jù)優(yōu)先級參數(shù)確定數(shù)據(jù)包的發(fā)送間隔和/或發(fā)送次數(shù)，進(jìn)而按照該間隔和/或該次數(shù)發(fā)送數(shù)據(jù)包，...
								
            
							
            
							
						
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