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                  		攝影電影;光學設備的制造及其處理,應用技術
                  	
                  
          
                
          
                
          
                    
            
					
						
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								      本發明涉及聚合物、化學增幅負型抗蝕劑組成物及抗蝕劑圖案形成方法。本發明的課題是提供：含有具有優良的蝕刻耐性、有機溶劑溶解性、及適當的酸強度，且可產生擴散小的酸的聚合物鍵結型酸產生劑的化學增幅負型抗蝕劑組成物，以及使用該化學增幅抗蝕劑組成物的...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明公開了一種基于分數軌道角動量復用全息的信息存儲裝置和方法，涉及全息技術領域。本發明將分數軌道角動量到整數軌道角動量的任意轉換與傳統的整數軌道角動量全息結合，實現分數軌道角動量復用全息。本發明相鄰通道的拓撲荷數間隔可以小于1，提高了容量...
								
            
							
            
							
						
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								      一種光學成像裝置，包含多個光學鏡片。多個光學鏡片沿一光軸配置，以朝向一取像方向進行取像，并成像于一成像面。多個光學鏡片區分為至少一組固定鏡片組以及至少一組可動鏡片組；其中，固定鏡片組為固定設置，且可動鏡片組用以相對于固定鏡片組位移，以對光學...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明公開了一種鏡頭驅動裝置，包括外殼、框架、載體、底座、上簧片和下簧片，框架設有磁石組，載體設有第一線圈，底座設有第二線圈，第一線圈與磁石組配合驅動載體沿光軸方向運動，第二線圈與磁石組配合驅動框架和載體在垂直于光軸的平面上運動，以及在框架...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請公開了一種異形密封圈、使用該異形密封圈光學鏡頭及電子產品。該異形密封圈包括：密封圈本體和與所述密封圈本體連接的密封圈尾部，所述異形密封圈位于鏡筒與所述鏡筒內安裝的鏡片之間，其中，所述密封圈本體與所述鏡筒及所述鏡片的外側邊緣過盈配合，所...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明涉及感光性樹脂組合物、使用該組合物制備的感光性樹脂膜和濾色器，該感光性樹脂組合物包含(A)著色劑、(B)光可聚合化合物、(C)光聚合引發劑、(D)粘合劑樹脂和(E)溶劑，其中：(A)著色劑包括第一綠色染料、第二綠色染料和白色顏料；并且...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請提供一種新型不透光二元光掩模制備方法，包括以下步驟：在曝光工藝中，增加曝光劑量以使曝光區域的光化學反應更充分，從而提高已曝光區域和未曝光區域溶解度的差異；在顯影工藝中，對顯影液采用噴淋方式并調節顯影液參數以確保顯影液均勻覆蓋光掩模表面...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型公開了一種納米晶塊壓印機構，包括支撐架，所述支撐架的頂部設有壓印組件，所述支撐架的底部內壁固定連接有凸塊，凸塊的頂部轉動固定連接有轉動桿，轉動桿的頂端固定連接有連接板，連接板通過可拆卸的固定組件與凸塊相固定，所述連接板的兩側均固定...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明提供一種UV光源的復合式機械減振支撐裝置，屬于光刻設備技術領域，包括基座、UV光源和減振模塊，減振模塊包括連接件和支撐緩沖件，UV光源通過連接件連接至支撐緩沖件，支撐緩沖件環繞UV光源軸線對稱分布，支撐緩沖件還連接至基座；基座上安裝有...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型涉及曝光機技術領域，具體涉及一種曝光機解析度提升結構，包括燈板，所述燈板的底部固定安裝有散熱器,所述燈板的頂部固定安裝有多組LED燈珠，所述燈板的頂部且位于LED燈珠的外側固定安裝有燈罩，所述燈罩的內側且位于多組LED燈珠的頂部均...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請涉及半導體集成電路制造技術領域，具體涉及一種OPC建模量測圖形數據選擇方法。方法包括：提供對應半導體器件特定層的掩模版數據文件和OPC初始模型；從掩模版數據文件中，選取實際特征尺寸屬于第一特征尺寸范圍的掩模圖形作為測試圖形，所有測試圖...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明提供了一種車輛底盤控制器及冷備份控制系統和方法，包括主控制系統、備份控制系統以及備份切換電路，主控制系統包括主控制器MCU1和與MCU1連接的主電源芯片SBC，備份控制系統包括備份控制器MCU2和與MCU2連接的備份電源，供電電源Vi...
								
            
							
            
							
						
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								      一種被配置為將EUV輻射投影到襯底位置的光刻設備，該光刻設備包括：照射系統，該照射系統包括用于沿著束路徑引導EUV輻射的多個反射表面；以及IR源，該IR源被配置為產生IR輻射；其中所述IR源和照射系統被布置為使得IR輻射沿著束路徑投影。
								
            
							
            
							
						
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								      本申請涉及半導體制造領域，具體地說，是涉及一種底切結構的形成方法及底切結構，該底切結構的形成方法包括：在晶圓上形成第一正性光刻膠層；對第一正性光刻膠層分別進行兩次曝光，以形成第一底部曝光圖形和第二底部曝光圖形，其中，第一底部曝光圖形和第二底...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型公開了一種底面壓印裝置，屬于壓印裝置技術領域，包括鋼帶、驅動組件、第一連接件、第二連接件和控制組件。鋼帶上印有圖案。鋼帶兩端分別連接第一連接件和第二連接件，驅動組件連接于第一連接件，驅動組件能夠驅動第一連接件轉動，第一連接件帶動鋼...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型公開了一種頂面壓印裝置，屬于壓印裝置技術領域，包括移動平臺、基座和壓輥組件，移動平臺上設置有第一驅動組件，基座通過第一驅動組件連接于移動平臺，第一驅動組件包括第一驅動件，第一驅動件能夠帶動基座沿第一方向移動，第一方向平行于壓印件的...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明公開了一種模型性能評估方法、裝置、設備與存儲介質，屬于計算機信息處理技術領域。本發明通過獲取實驗組新模型的第一拒絕率和對照組與實驗組的實際樣本數比值，根據所述第一拒絕率和所述實際樣本數比值，計算得到對照組的還原權重，獲取對照組的壞樣本...
								
            
							
            
							
						
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								      本實用新型涉及光刻膠涂布技術領域，且公開了一種光刻膠涂布裝置，包括基板，所述基板的頂部固定安裝有用于進行承載的環座，且所述環座的內部固定安裝有用于進行吸附固定的吸附座，且所述吸附座的底部與真空泵固定連接在一起，所述基板的頂部還固定安裝有用于...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明涉及一種曝光裝置、曝光方法和物品的制造方法。一種曝光裝置，使來自光源的光經由原版曝光到基板，其中，該曝光裝置具備包含與原版或者基板接觸的接觸部件的接觸機構，接觸部件至少由在與原版或者基板接觸的面附加有氮原子的氟橡膠構成。
								
            
							
            
							
						
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								      本發明公開了一種UV?LED移動掃描式光刻方法及裝置，包括有如下步驟：選擇使用指定范圍內的UV?LED燈組從線性照度計上方勻速移動經過，各個測量單元采集其正上方的輻射照度，對應的電流調整模塊分別記錄對應的電流值；計算各自接受的累積輻射照度，...
								
            
							
            
							
						
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