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          攝影電影;光學(xué)設(shè)備的制造及其處理,應(yīng)用技術(shù)
          • 本發(fā)明涉及有機(jī)膜形成用組成物、圖案形成方法、以及聚合物。本發(fā)明提供一種有機(jī)膜形成用組成物,其含有碳含量高而有熱硬化性的聚合物,會(huì)展現(xiàn)高蝕刻耐性、優(yōu)良的扭曲耐性,并提供使用其的圖案形成方法及適合其的聚合物。有機(jī)膜形成用組成物包含具下列通式(1...
          • 本發(fā)明涉及投影設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種LCOS準(zhǔn)直光機(jī)模組及投影裝置,包括用于光源、LCOS反射面板、成像模塊,還包括:準(zhǔn)直模塊,用于將光源輸出的照明光調(diào)至準(zhǔn)直;光路引導(dǎo)結(jié)構(gòu),包括偏振光束分離棱鏡,用于接收準(zhǔn)直模塊輸出的照明光,使照明光在成...
          • 本實(shí)用新型提供了一種投影燈,包括:投影盤,可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置,投影盤沿周向依次設(shè)置有多個(gè)圖案區(qū),至少兩個(gè)圖案區(qū)的面積和/或形狀不同,每個(gè)圖案區(qū)內(nèi)均設(shè)置有投影圖案,且每個(gè)圖案區(qū)均對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)檢測結(jié)構(gòu);檢測傳感器,投影盤轉(zhuǎn)動(dòng)過程中多個(gè)檢測結(jié)構(gòu)依次經(jīng)過...
          • 本發(fā)明提供的一種投影鏡頭無凝露的投影儀光機(jī)及投影儀,其中投影儀光機(jī)包括殼體、光源板、第一反射鏡、鏡片模組、第二反射鏡,投影鏡頭、LCD主散熱器、內(nèi)風(fēng)機(jī)、LCD副散熱器和LED散熱器;本發(fā)明還提供一種投影儀,包括外殼,還包括如上述所述的一種投...
          • 本發(fā)明提供一種光罩控制方法、光罩控制系統(tǒng)、光刻機(jī)臺(tái)、光刻方法及可讀存儲(chǔ)介質(zhì),能夠根據(jù)光罩的實(shí)際情況自動(dòng)更新光罩的狀態(tài),以實(shí)現(xiàn)光罩的多種狀態(tài)轉(zhuǎn)換,由此可以根據(jù)光罩的不同狀態(tài)對(duì)光罩進(jìn)行不同的操作(例如進(jìn)行缺陷檢測、放置到光罩盒中、裝載到掩膜臺(tái)上...
          • 本公開的方面一般涉及數(shù)字平版印刷系統(tǒng)和用于利用數(shù)字平版印刷系統(tǒng)對(duì)準(zhǔn)分辨率的方法。數(shù)字平版印刷系統(tǒng)包括被配置為改進(jìn)平版印刷處理的不同層的重迭對(duì)準(zhǔn)的計(jì)量系統(tǒng)。計(jì)量系統(tǒng)包括在線計(jì)量系統(tǒng)(IMS)與工具上計(jì)量系統(tǒng)(OTM)結(jié)合,可實(shí)現(xiàn)基板重迭對(duì)準(zhǔn)和...
          • 本實(shí)用新型公開了一種球形投影成像用外殼裝置,包括透明的上殼體、下殼體和頸部殼體,上殼體在遠(yuǎn)離下殼體的一側(cè)設(shè)置有頸部殼體,頸部殼體與上殼體一體成型設(shè)計(jì),下殼體的內(nèi)底表面設(shè)置有軸承底座,軸承底座開設(shè)有容納槽,容納槽能夠容納滾動(dòng)軸承,軸承底座與滾...
          • 本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N光刻膠組合物及其用途,其中,光刻膠組合物通過添加含多羥基苯基化合物的添加劑,一方面提高了非曝光區(qū)的溶解速率,解決了顯影后光刻膠圖形表面有殘留物的問題,另一方面由于光刻膠組合物的結(jié)構(gòu)上可交聯(lián)的羥基數(shù)目多,曝光區(qū)交聯(lián)密度大,使曝...
          • 本公開涉及用于EUV光刻的保護(hù)膜結(jié)構(gòu)及其制造方法。一種形成保護(hù)膜的方法包括:生長碳納米管(CNT),用由不同的材料制成的一個(gè)或多個(gè)納米管包裹所述CNT,以及去除所述CNT。可以在過濾器之上生長所述CNT,并且隨后去除所述過濾器??梢允顾鯟...
          • 本發(fā)明涉及有機(jī)膜形成材料、圖案形成方法以及化合物。本發(fā)明的目的是提供一種化合物,能形成不僅耐熱性、形成于基板的圖案的填埋、平坦化特性優(yōu)良,且對(duì)于基板的成膜性、密接性良好的有機(jī)下層膜,并提供含有該化合物的有機(jī)膜形成材料。本發(fā)明的解決手段是一種...
          • 本發(fā)明提供一種T型柵模板及其制備方法和應(yīng)用,屬于半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域。所述T型柵模板由透明材料制成,包括基板、位于所述基板上的第一凸起結(jié)構(gòu)和位于所述第一凸起結(jié)構(gòu)上的第二凸起結(jié)構(gòu);所述第一凸起結(jié)構(gòu)的側(cè)面覆蓋有遮光層;所述第二凸起結(jié)構(gòu)的側(cè)面覆蓋有...
          • 本發(fā)明涉及聚合物、化學(xué)增幅負(fù)型抗蝕劑組成物及抗蝕劑圖案形成方法。本發(fā)明的課題是提供:含有具有優(yōu)良的蝕刻耐性、有機(jī)溶劑溶解性、及適當(dāng)?shù)乃釓?qiáng)度,且可產(chǎn)生擴(kuò)散小的酸的聚合物鍵結(jié)型酸產(chǎn)生劑的化學(xué)增幅負(fù)型抗蝕劑組成物,以及使用該化學(xué)增幅抗蝕劑組成物的...
          • 本發(fā)明公開了一種基于分?jǐn)?shù)軌道角動(dòng)量復(fù)用全息的信息存儲(chǔ)裝置和方法,涉及全息技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明將分?jǐn)?shù)軌道角動(dòng)量到整數(shù)軌道角動(dòng)量的任意轉(zhuǎn)換與傳統(tǒng)的整數(shù)軌道角動(dòng)量全息結(jié)合,實(shí)現(xiàn)分?jǐn)?shù)軌道角動(dòng)量復(fù)用全息。本發(fā)明相鄰?fù)ǖ赖耐負(fù)浜蓴?shù)間隔可以小于1,提高了容量...
          • 本發(fā)明公開了一種鏡頭驅(qū)動(dòng)裝置,包括外殼、框架、載體、底座、上簧片和下簧片,框架設(shè)有磁石組,載體設(shè)有第一線圈,底座設(shè)有第二線圈,第一線圈與磁石組配合驅(qū)動(dòng)載體沿光軸方向運(yùn)動(dòng),第二線圈與磁石組配合驅(qū)動(dòng)框架和載體在垂直于光軸的平面上運(yùn)動(dòng),以及在框架...
          • 本申請(qǐng)公開了一種異形密封圈、使用該異形密封圈光學(xué)鏡頭及電子產(chǎn)品。該異形密封圈包括:密封圈本體和與所述密封圈本體連接的密封圈尾部,所述異形密封圈位于鏡筒與所述鏡筒內(nèi)安裝的鏡片之間,其中,所述密封圈本體與所述鏡筒及所述鏡片的外側(cè)邊緣過盈配合,所...
          • 一種光學(xué)成像裝置,包含多個(gè)光學(xué)鏡片。多個(gè)光學(xué)鏡片沿一光軸配置,以朝向一取像方向進(jìn)行取像,并成像于一成像面。多個(gè)光學(xué)鏡片區(qū)分為至少一組固定鏡片組以及至少一組可動(dòng)鏡片組;其中,固定鏡片組為固定設(shè)置,且可動(dòng)鏡片組用以相對(duì)于固定鏡片組位移,以對(duì)光學(xué)...
          • 本發(fā)明涉及感光性樹脂組合物、使用該組合物制備的感光性樹脂膜和濾色器,該感光性樹脂組合物包含(A)著色劑、(B)光可聚合化合物、(C)光聚合引發(fā)劑、(D)粘合劑樹脂和(E)溶劑,其中:(A)著色劑包括第一綠色染料、第二綠色染料和白色顏料;并且...
          • 本實(shí)用新型公開了一種納米晶塊壓印機(jī)構(gòu),包括支撐架,所述支撐架的頂部設(shè)有壓印組件,所述支撐架的底部內(nèi)壁固定連接有凸塊,凸塊的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿,轉(zhuǎn)動(dòng)桿的頂端固定連接有連接板,連接板通過可拆卸的固定組件與凸塊相固定,所述連接板的兩側(cè)均固定...
          • 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N新型不透光二元光掩模制備方法,包括以下步驟:在曝光工藝中,增加曝光劑量以使曝光區(qū)域的光化學(xué)反應(yīng)更充分,從而提高已曝光區(qū)域和未曝光區(qū)域溶解度的差異;在顯影工藝中,對(duì)顯影液采用噴淋方式并調(diào)節(jié)顯影液參數(shù)以確保顯影液均勻覆蓋光掩模表面...
          • 本發(fā)明提供一種UV光源的復(fù)合式機(jī)械減振支撐裝置,屬于光刻設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,包括基座、UV光源和減振模塊,減振模塊包括連接件和支撐緩沖件,UV光源通過連接件連接至支撐緩沖件,支撐緩沖件環(huán)繞UV光源軸線對(duì)稱分布,支撐緩沖件還連接至基座;基座上安裝有...
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