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          攝影電影;光學設備的制造及其處理,應用技術
          • 本發明涉及有機膜形成用組成物、圖案形成方法、以及聚合物。本發明提供一種有機膜形成用組成物,其含有碳含量高而有熱硬化性的聚合物,會展現高蝕刻耐性、優良的扭曲耐性,并提供使用其的圖案形成方法及適合其的聚合物。有機膜形成用組成物包含具下列通式(1...
          • 本發明涉及投影設備技術領域,公開了一種LCOS準直光機模組及投影裝置,包括用于光源、LCOS反射面板、成像模塊,還包括:準直模塊,用于將光源輸出的照明光調至準直;光路引導結構,包括偏振光束分離棱鏡,用于接收準直模塊輸出的照明光,使照明光在成...
          • 本實用新型提供了一種投影燈,包括:投影盤,可轉動地設置,投影盤沿周向依次設置有多個圖案區,至少兩個圖案區的面積和/或形狀不同,每個圖案區內均設置有投影圖案,且每個圖案區均對應設置一個檢測結構;檢測傳感器,投影盤轉動過程中多個檢測結構依次經過...
          • 本發明提供的一種投影鏡頭無凝露的投影儀光機及投影儀,其中投影儀光機包括殼體、光源板、第一反射鏡、鏡片模組、第二反射鏡,投影鏡頭、LCD主散熱器、內風機、LCD副散熱器和LED散熱器;本發明還提供一種投影儀,包括外殼,還包括如上述所述的一種投...
          • 本發明提供一種光罩控制方法、光罩控制系統、光刻機臺、光刻方法及可讀存儲介質,能夠根據光罩的實際情況自動更新光罩的狀態,以實現光罩的多種狀態轉換,由此可以根據光罩的不同狀態對光罩進行不同的操作(例如進行缺陷檢測、放置到光罩盒中、裝載到掩膜臺上...
          • 本公開的方面一般涉及數字平版印刷系統和用于利用數字平版印刷系統對準分辨率的方法。數字平版印刷系統包括被配置為改進平版印刷處理的不同層的重迭對準的計量系統。計量系統包括在線計量系統(IMS)與工具上計量系統(OTM)結合,可實現基板重迭對準和...
          • 本實用新型公開了一種球形投影成像用外殼裝置,包括透明的上殼體、下殼體和頸部殼體,上殼體在遠離下殼體的一側設置有頸部殼體,頸部殼體與上殼體一體成型設計,下殼體的內底表面設置有軸承底座,軸承底座開設有容納槽,容納槽能夠容納滾動軸承,軸承底座與滾...
          • 本申請提供了一種光刻膠組合物及其用途,其中,光刻膠組合物通過添加含多羥基苯基化合物的添加劑,一方面提高了非曝光區的溶解速率,解決了顯影后光刻膠圖形表面有殘留物的問題,另一方面由于光刻膠組合物的結構上可交聯的羥基數目多,曝光區交聯密度大,使曝...
          • 本公開涉及用于EUV光刻的保護膜結構及其制造方法。一種形成保護膜的方法包括:生長碳納米管(CNT),用由不同的材料制成的一個或多個納米管包裹所述CNT,以及去除所述CNT。可以在過濾器之上生長所述CNT,并且隨后去除所述過濾器。可以使所述C...
          • 本發明涉及有機膜形成材料、圖案形成方法以及化合物。本發明的目的是提供一種化合物,能形成不僅耐熱性、形成于基板的圖案的填埋、平坦化特性優良,且對于基板的成膜性、密接性良好的有機下層膜,并提供含有該化合物的有機膜形成材料。本發明的解決手段是一種...
          • 本發明提供一種T型柵模板及其制備方法和應用,屬于半導體器件技術領域。所述T型柵模板由透明材料制成,包括基板、位于所述基板上的第一凸起結構和位于所述第一凸起結構上的第二凸起結構;所述第一凸起結構的側面覆蓋有遮光層;所述第二凸起結構的側面覆蓋有...
          • 本發明涉及聚合物、化學增幅負型抗蝕劑組成物及抗蝕劑圖案形成方法。本發明的課題是提供:含有具有優良的蝕刻耐性、有機溶劑溶解性、及適當的酸強度,且可產生擴散小的酸的聚合物鍵結型酸產生劑的化學增幅負型抗蝕劑組成物,以及使用該化學增幅抗蝕劑組成物的...
          • 本發明公開了一種基于分數軌道角動量復用全息的信息存儲裝置和方法,涉及全息技術領域。本發明將分數軌道角動量到整數軌道角動量的任意轉換與傳統的整數軌道角動量全息結合,實現分數軌道角動量復用全息。本發明相鄰通道的拓撲荷數間隔可以小于1,提高了容量...
          • 本發明公開了一種鏡頭驅動裝置,包括外殼、框架、載體、底座、上簧片和下簧片,框架設有磁石組,載體設有第一線圈,底座設有第二線圈,第一線圈與磁石組配合驅動載體沿光軸方向運動,第二線圈與磁石組配合驅動框架和載體在垂直于光軸的平面上運動,以及在框架...
          • 本申請公開了一種異形密封圈、使用該異形密封圈光學鏡頭及電子產品。該異形密封圈包括:密封圈本體和與所述密封圈本體連接的密封圈尾部,所述異形密封圈位于鏡筒與所述鏡筒內安裝的鏡片之間,其中,所述密封圈本體與所述鏡筒及所述鏡片的外側邊緣過盈配合,所...
          • 一種光學成像裝置,包含多個光學鏡片。多個光學鏡片沿一光軸配置,以朝向一取像方向進行取像,并成像于一成像面。多個光學鏡片區分為至少一組固定鏡片組以及至少一組可動鏡片組;其中,固定鏡片組為固定設置,且可動鏡片組用以相對于固定鏡片組位移,以對光學...
          • 本發明涉及感光性樹脂組合物、使用該組合物制備的感光性樹脂膜和濾色器,該感光性樹脂組合物包含(A)著色劑、(B)光可聚合化合物、(C)光聚合引發劑、(D)粘合劑樹脂和(E)溶劑,其中:(A)著色劑包括第一綠色染料、第二綠色染料和白色顏料;并且...
          • 本實用新型公開了一種納米晶塊壓印機構,包括支撐架,所述支撐架的頂部設有壓印組件,所述支撐架的底部內壁固定連接有凸塊,凸塊的頂部轉動固定連接有轉動桿,轉動桿的頂端固定連接有連接板,連接板通過可拆卸的固定組件與凸塊相固定,所述連接板的兩側均固定...
          • 本申請提供一種新型不透光二元光掩模制備方法,包括以下步驟:在曝光工藝中,增加曝光劑量以使曝光區域的光化學反應更充分,從而提高已曝光區域和未曝光區域溶解度的差異;在顯影工藝中,對顯影液采用噴淋方式并調節顯影液參數以確保顯影液均勻覆蓋光掩模表面...
          • 本發明提供一種UV光源的復合式機械減振支撐裝置,屬于光刻設備技術領域,包括基座、UV光源和減振模塊,減振模塊包括連接件和支撐緩沖件,UV光源通過連接件連接至支撐緩沖件,支撐緩沖件環繞UV光源軸線對稱分布,支撐緩沖件還連接至基座;基座上安裝有...
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