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								      本發(fā)明提供一種用于含硅抗反射涂層三層光阻結(jié)構(gòu)的返工方法，提供待返工的晶圓，晶圓上形成有覆蓋其上圖形的旋涂碳硬掩膜層，旋涂碳硬掩膜上依次形成有含硅抗反射涂層、光刻膠層；采用N2/H2混合氣體作為離子...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明提供一種改善頂層金屬化學(xué)機(jī)械拋光后薄膜裂紋的方法，在完成金屬層刻蝕或沉積后，采用原子層沉積技術(shù)在金屬層表面形成第一襯層，第一襯層為具有高界面粘附性和致密性的原子層沉積絕緣層；在第一襯層上形成第二襯層，第二襯層具有應(yīng)力緩沖功能；在第二襯...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請公開了一種刻蝕方法，涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，包括：提供基底，基底表面設(shè)有待刻蝕層；對基底進(jìn)行預(yù)刻蝕處理，在基底中形成溝槽；對溝槽頂部進(jìn)行鈍化處理，使得溝槽的側(cè)壁及底部形成鈍化層；對鈍化層進(jìn)行擊穿處理，破壞溝槽底部的鈍化層；采用預(yù)刻蝕時(shí)...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及TGV基板制造技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種提高大尺寸TGV基板種子層臺階覆蓋均勻性的方法，包括如下步驟：取已經(jīng)完成通孔開孔的基板；在基板上表面的邊緣區(qū)域設(shè)置壓板結(jié)構(gòu)；在壓板結(jié)構(gòu)內(nèi)側(cè)四邊的中間位置設(shè)置與基板上表面貼合的壓條。在大尺寸的TG...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及鈉離子電池電極材料領(lǐng)域，發(fā)明公開了一種碳化硼包覆型鋯硅共摻復(fù)合磷酸鐵鈉正極材料制備方法及應(yīng)用。所述碳化硼包覆型鋯硅共摻復(fù)合磷酸鐵鈉的化學(xué)式為NaxFeyZr(3?y)/2
							
            
							
						
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								      本發(fā)明公開了一種散熱組件、電池單體、電池包和用電設(shè)備，散熱組件包括：殼體，殼體具有流動通道，流動通道能夠容納工質(zhì)；第一單向?qū)衲ず偷诙蜗驅(qū)衲ぃ谝粏蜗驅(qū)衲ず偷诙蜗驅(qū)衲ぞ挥诹鲃油ǖ纼?nèi)且沿第一方向?qū)盈B設(shè)置，第一單向?qū)衲び糜隍?qū)動工質(zhì)...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及電控柜技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種養(yǎng)殖用電控柜，包括柜體，所述柜體內(nèi)設(shè)置有散熱風(fēng)機(jī),所述的柜體前端鉸接有柜門，所述柜門上設(shè)置有觸摸屏，所述觸摸屏外部套設(shè)有防護(hù)殼，所述防護(hù)殼與所述柜體可拆卸的連接，所述防護(hù)殼上設(shè)置有透明的觀察窗；所述柜體頂...
								
            
							
            
							
						
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								      一種地下電纜鋪設(shè)裝置，涉及地下電纜鋪設(shè)技術(shù)領(lǐng)域，包括第一固定架、第二固定架、牽引裝置、牽引繩和鋪設(shè)裝置，第一固定架上設(shè)有牽引裝置，牽引裝置上設(shè)有牽引繩，牽引繩上設(shè)有鋪設(shè)裝置，鋪設(shè)裝置上設(shè)有第二固定架，鋪設(shè)裝置由固定組件和鋪設(shè)組件構(gòu)成，固定組...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及電壓控制技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種同期主變檔位自動補(bǔ)償電壓控制系統(tǒng)，系統(tǒng)包括：區(qū)域負(fù)荷信息采集模塊，通過部署在指定區(qū)域內(nèi)關(guān)鍵饋線或用戶側(cè)的電壓互感器和電流互感器，周期性讀取電壓瞬時(shí)值和電流瞬時(shí)值，計(jì)算得到有功功率數(shù)值和無功功率數(shù)值，為每...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及一種海上風(fēng)電集群的海陸交直流電氣系統(tǒng)聯(lián)合優(yōu)化方法。該方法基于海上風(fēng)電場基礎(chǔ)數(shù)據(jù)、典型規(guī)劃場景與陸上電網(wǎng)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，通過三層聯(lián)合優(yōu)化模型，實(shí)現(xiàn)海上整流站選址定容、最優(yōu)并網(wǎng)接入點(diǎn)選擇及陸上電網(wǎng)擴(kuò)建方案的協(xié)同優(yōu)化。首先采用聚類算法確定海上...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請涉及一種基于配電網(wǎng)分區(qū)管理技術(shù)的新能源消納方法、裝置、計(jì)算機(jī)設(shè)備、存儲介質(zhì)和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。該方法包括：將待分析配電網(wǎng)中每個初始配電網(wǎng)分區(qū)的當(dāng)前負(fù)荷變化趨勢值和當(dāng)前接入點(diǎn)密度值，輸入至分區(qū)類型預(yù)測模型，得到每個初始配電網(wǎng)分區(qū)的分區(qū)類型...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請涉及一種容量配置與調(diào)度策略的優(yōu)化方法、裝置及可讀存儲介質(zhì)。所述方法包括：根據(jù)不確定性參數(shù)的預(yù)測特征曲線，得到不確定性描述集；其中，不確定性描述集表征源荷雙側(cè)光伏出力的不確定性集合和負(fù)荷需求的不確定性集合；基于不確定性描述集，構(gòu)建兩階段...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明提供一種配電網(wǎng)分區(qū)方法及裝置，涉及電力系統(tǒng)規(guī)劃技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明采用DPC算法根據(jù)相對距離和局部密度確定聚類中心和分區(qū)數(shù)量，得到初始化配電網(wǎng)分區(qū)網(wǎng)絡(luò)圖；采用LPA算法根據(jù)初始化配電網(wǎng)分區(qū)網(wǎng)絡(luò)圖，確定配電網(wǎng)分區(qū)結(jié)果。本發(fā)明能確保配電網(wǎng)分區(qū)...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明提出了一種基于雙出力策略的協(xié)同式電網(wǎng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)及方法，屬于電力系統(tǒng)儲能與靈活調(diào)節(jié)技術(shù)領(lǐng)域；包括壓縮空氣儲能電站、燃?xì)廨啓C(jī)機(jī)組和聯(lián)合控制器；壓縮空氣儲能電站和燃?xì)廨啓C(jī)機(jī)組均與聯(lián)合控制器相連接；聯(lián)合控制器實(shí)時(shí)接收電網(wǎng)調(diào)度指令，且內(nèi)部集成有雙...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明公開了一種基于疲勞損傷最小化的風(fēng)機(jī)功率調(diào)度優(yōu)化方法，針對風(fēng)電產(chǎn)業(yè)中大型風(fēng)電機(jī)組核心部件疲勞損傷加劇的問題。本方法采用一種有功功率最優(yōu)分配模型，該模型以主軸和塔架疲勞損傷最小化為目標(biāo)函數(shù)，綜合考慮功率平衡約束、單機(jī)功率上限及分配誤差容忍...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明提供了一種抑制DAC非線性的方法及DDS系統(tǒng)，通過生成單路LFSR噪聲并進(jìn)行濾波整形產(chǎn)生DAC非線性抑制波形，有效抑制了DAC的非線性；從而對DDS波形進(jìn)行矯正和優(yōu)化得到與DAC的非線性特性匹配的DDS信號，獲得超低雜散的DDS信號，...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明公開了基于智能反射面的車地轉(zhuǎn)儲波束跟蹤方法，屬于車地轉(zhuǎn)儲無線通信技術(shù)領(lǐng)域，通過將靠近車站的第一原始列車信號進(jìn)行波束成形處理并通過第一無線信道直接發(fā)送到車站，而距離車站較遠(yuǎn)的第二原始列車信號先通過波束成形處理發(fā)送到智能反射面，在智能反射...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明涉及一種跨介質(zhì)無人機(jī)系統(tǒng)及其自適應(yīng)控制方法，屬于無人機(jī)技術(shù)領(lǐng)域。針對現(xiàn)有技術(shù)中跨介質(zhì)通信易中斷、推進(jìn)效率低及動態(tài)控制不穩(wěn)的問題，提出模塊化機(jī)身整合分體式推進(jìn)系統(tǒng)、駐極體機(jī)械天線和智能控制單元。系統(tǒng)通過動態(tài)調(diào)諧天線諧振頻率保障通信連續(xù)性...
								
            
							
            
							
						
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								      本發(fā)明公開了一種面向雙流量的多分段BTSFormer智能識別方法，屬于網(wǎng)絡(luò)安全與流量識別領(lǐng)域。本發(fā)明通過固定窗口將包長度序列劃分為通信階段子段，分別進(jìn)行段內(nèi)時(shí)序建模與段間全局語義建模。段內(nèi)采用嵌入層與多層Bi?GRU提取上下文特征，段間引入...
								
            
							
            
							
						
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								      本公開提供一種基于IAST技術(shù)的Web AP I資產(chǎn)自動挖掘系統(tǒng)及方法，所述系統(tǒng)包括：流量代理模塊，用于通過流量旁路代理捕獲Web客戶端與服務(wù)器之間的原始流量數(shù)據(jù)；流量清洗模塊，用于清洗和過濾所述原始流量數(shù)據(jù)，篩選出與Web AP I請求相...
								
            
							
            
							
						
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