買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉惠然微電子技術(shù)(無錫)有限公司申請(qǐng)的專利一種用于晶圓傳送的裝置及系統(tǒng)獲國家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223390503U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422586718.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該實(shí)用新型一種用于晶圓傳送的裝置及系統(tǒng)是由高文泉;金建高;赫文楠;霍志軍設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-10-25向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種用于晶圓傳送的裝置及系統(tǒng)在說明書摘要公布了：一種用于晶圓傳送的裝置及系統(tǒng)，裝置用于在處理設(shè)備的第一腔室和第二腔室之間移送晶圓，包括：連接板，固定連接于第一腔室的腔壁，其上設(shè)有多個(gè)貫通的傳動(dòng)通孔；密封板，其與連接板沿豎直方向間隔設(shè)置，并能夠相對(duì)于連接板移動(dòng)，以密封第二腔室，且密封板包括兩個(gè)分別與不同的真空泵連通的真空開口，以及多個(gè)密封桿孔；傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其包括多個(gè)中空的傳動(dòng)桿，傳動(dòng)桿與密封板底側(cè)固定連接；真空組件，其包括兩個(gè)閥板以及多個(gè)密封桿，多個(gè)密封桿穿過傳動(dòng)桿及傳動(dòng)通孔與閥板固定連接，以驅(qū)動(dòng)閥板密封真空開口；密封連接組件，其包括多個(gè)波紋管，波紋管一端與連接板固定連接，另一端與密封板或閥板固定連接，并圍合密封真空開口、傳動(dòng)通孔和密封桿孔。

本實(shí)用新型一種用于晶圓傳送的裝置及系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于晶圓傳送的裝置，其用于在處理設(shè)備200的第一腔室210和第二腔室220之間移送晶圓90，其特征在于，包括： 連接板12，其固定連接于所述第一腔室210的腔壁，連接板12上設(shè)有多個(gè)貫通的傳動(dòng)通孔128； 密封板11，其與連接板12沿豎直方向間隔設(shè)置，并能夠相對(duì)于所述連接板12移動(dòng)，以相對(duì)于第一腔室210密封第二腔室，且所述密封板11包括兩個(gè)分別與不同的真空泵連通的真空開口，以及多個(gè)密封桿孔118； 傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，其包括多個(gè)中空的傳動(dòng)桿24，所述傳動(dòng)桿24與密封板11底側(cè)固定連接； 真空組件，其包括兩個(gè)閥板以及多個(gè)密封桿351，多個(gè)所述密封桿351穿過傳動(dòng)桿24及傳動(dòng)通孔128與所述閥板固定連接，以驅(qū)動(dòng)閥板密封所述真空開口； 密封連接組件，其包括多個(gè)波紋管，至少部分波紋管一端與所述連接板12固定連接，另一端與所述密封板11或所述閥板固定連接，并圍合密封所述真空開口、傳動(dòng)通孔128和所述密封桿孔118。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人惠然微電子技術(shù)(無錫)有限公司，其通訊地址為：214151 江蘇省無錫市惠山區(qū)錢橋大街141號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。