蘇州晶矽電子科技有限公司張丹丹獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州晶矽電子科技有限公司申請的專利一種襯底鍵合用對準定位夾具獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223390527U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發(fā)布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為:202422651859.0,技術領域涉及:H01L21/68;該實用新型一種襯底鍵合用對準定位夾具是由張丹丹;劉磊石設計研發(fā)完成,并于2024-10-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種襯底鍵合用對準定位夾具在說明書摘要公布了:本實用新型提供一種襯底鍵合用對準定位夾具,包括兩個對稱設置的支撐座,兩個支撐座之間設置有X軸移動塊,支撐座上設置有X軸調節(jié)組件,X軸調節(jié)組件的輸出端與X軸移動塊相連接,X軸移動塊上設置有Y軸調節(jié)組件以及設置在Y軸調節(jié)組件輸出端上的Y軸移動塊,Y軸移動塊上設置有轉臺,轉臺上開設有若干個吸附孔,Y軸移動塊的下端設置有真空發(fā)生器,真空發(fā)生器通過連接管與吸附孔相連通。本實用新型通過X軸電動推桿和Y軸電動推桿的位置調節(jié),以及轉臺的角度調節(jié),使得裝置能夠適應不同尺寸、形狀和鍵合要求的襯底,可以根據(jù)實際需要,靈活地調整襯底的位置和角度,滿足各種復雜的鍵合工藝需求。
本實用新型一種襯底鍵合用對準定位夾具在權利要求書中公布了:1.一種襯底鍵合用對準定位夾具,包括兩個對稱設置的支撐座(1),其特征在于:兩個支撐座(1)之間設置有X軸移動塊(2),所述支撐座(1)上設置有X軸調節(jié)組件,所述X軸調節(jié)組件的輸出端與X軸移動塊(2)相連接,所述X軸移動塊(2)上設置有Y軸調節(jié)組件以及設置在Y軸調節(jié)組件輸出端上的Y軸移動塊(5),所述Y軸移動塊(5)上設置有轉臺(7),所述轉臺(7)上開設有若干個吸附孔(73),所述Y軸移動塊(5)的下端設置有真空發(fā)生器(9),所述真空發(fā)生器(9)通過連接管(91)與吸附孔(73)相連通。
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