拓荊創(chuàng)益(沈陽)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司吳啟笛獲國家專利權(quán)
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！
龍圖騰網(wǎng)獲悉拓荊創(chuàng)益(沈陽)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司申請的專利一種防止顆粒物沉積的載盤裝置及其薄膜沉積設(shè)備獲國家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223386229U 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202422838216.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C16/458；該實(shí)用新型一種防止顆粒物沉積的載盤裝置及其薄膜沉積設(shè)備是由吳啟笛;楊艷;胡祥明設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-11-20向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種防止顆粒物沉積的載盤裝置及其薄膜沉積設(shè)備在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了一種防止顆粒物沉積的載盤裝置及其薄膜沉積設(shè)備，載盤裝置包括：加熱盤，嵌設(shè)于所述加熱盤上的若干頂針；其中，所述加熱盤上設(shè)有若干通孔以及連通于所述通孔的進(jìn)氣通道，所述頂針穿設(shè)于所述通孔，當(dāng)載盤裝置進(jìn)行清洗時(shí)，從所述進(jìn)氣通道輸入氣體以致在所述頂針的端部形成氣簾。本實(shí)施例的防止顆粒物沉積的載盤裝置，其通過在頂針的外側(cè)設(shè)置進(jìn)氣通道，在對(duì)工藝腔室清洗，通入氮?dú)獾葰怏w，在頂針的端部形成氣簾，從而避免頂針端部附著涂層，以致與傳入的晶圓接觸時(shí)不會(huì)粘連到晶圓表面，也不會(huì)造成頂針的端部顆粒物的大量累積。采用該防止顆粒物沉積的載盤裝置的薄膜沉積設(shè)備，可減少頂針對(duì)晶圓的影響，薄膜沉積質(zhì)量更好。
本實(shí)用新型一種防止顆粒物沉積的載盤裝置及其薄膜沉積設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種防止顆粒物沉積的載盤裝置，其特征在于，包括：加熱盤，嵌設(shè)于所述加熱盤上的若干頂針；其中，所述加熱盤上設(shè)有若干通孔以及連通于所述通孔的進(jìn)氣通道，所述頂針穿設(shè)于所述通孔，當(dāng)載盤裝置進(jìn)行清洗時(shí)，從所述進(jìn)氣通道輸入氣體以致在所述頂針的端部形成氣簾。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人拓荊創(chuàng)益(沈陽)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司，其通訊地址為：110171 遼寧省沈陽市渾南區(qū)水家900號(hào)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
以上內(nèi)容由AI智能生成
免責(zé)聲明
1、本報(bào)告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
1、本報(bào)告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報(bào)告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報(bào)告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
相關(guān)閱讀
- VID拓展公司羅健聰獲國家專利權(quán)
- 深圳市科信通信技術(shù)股份有限公司陳登志獲國家專利權(quán)
- 株式會(huì)社迪思科川越大輔獲國家專利權(quán)
- 華為技術(shù)有限公司張亞男獲國家專利權(quán)
- 中國平安財(cái)產(chǎn)保險(xiǎn)股份有限公司周劍獲國家專利權(quán)
- 浙江蘇泊爾家電制造有限公司鄧強(qiáng)獲國家專利權(quán)
- 東莞東陽光科研發(fā)有限公司胡三元獲國家專利權(quán)
- 谷歌有限責(zé)任公司埃萊娜·杰索普·納廷格獲國家專利權(quán)
- 索尼集團(tuán)公司加藤毅獲國家專利權(quán)
- 力神動(dòng)力電池系統(tǒng)有限公司趙博文獲國家專利權(quán)
熱門推薦
- 微軟技術(shù)許可有限責(zé)任公司池內(nèi)克史獲國家專利權(quán)
- ABB瑞士股份有限公司格雷戈里·F·羅薩諾獲國家專利權(quán)
- 深圳市尼柯光學(xué)精密技術(shù)有限公司陳文杰獲國家專利權(quán)
- 紐羅路普有限公司F·基米希獲國家專利權(quán)
- BFKW有限公司R·貝克獲國家專利權(quán)
- 西門子股份公司王洪偉獲國家專利權(quán)
- 拉碧斯半導(dǎo)體株式會(huì)社渡部五常獲國家專利權(quán)
- 常州鋁行艙集成房屋有限公司李鋒獲國家專利權(quán)
- 瑞菲尼緹有限公司張兆熙獲國家專利權(quán)
- 江蘇三葉草設(shè)計(jì)展覽有限公司朱春林獲國家專利權(quán)
開放平臺(tái)
擔(dān)保交易
惠及多方
會(huì)員特惠
專屬平臺(tái)
適合多方
數(shù)據(jù)共享
功能齊全
皖公網(wǎng)安備 34010402703815號(hào)