中國科學院長春光學精密機械與物理研究所王之一獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利基于空間編碼的干涉共焦測量系統及其測量方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119984087B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510003548.X,技術領域涉及:G01B11/24;該發明授權基于空間編碼的干涉共焦測量系統及其測量方法是由王之一;馮曉鵬;王建立;劉昌華;賈建祿設計研發完成,并于2025-01-02向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于空間編碼的干涉共焦測量系統及其測量方法在說明書摘要公布了:本發明涉及光學檢測領域,尤其涉及一種基于空間編碼的干涉共焦測量系統及其測量方法,光源產生的白光經第一準直透鏡準直,再經偏振分光棱鏡分為S偏振光和P偏振光,S偏振光經第一四分之一波片入射至參考平面鏡,并攜帶參考表面信息返回偏振分光棱鏡,P偏振光經第二四分之一波片入射至一閃耀光柵進行橫向色散,再經第一消色差透鏡變為不同波長相同焦距的單色偏振光,共同聚焦于待測物體的同一深度位置,攜帶待測物體信息返回偏振分光棱鏡,兩束偏振光合束后通過聚焦透鏡聚焦于放置一塊掩模板的成像光譜儀的光電探測器的靶面,得到待測物體的干涉圖像,進行光譜與干涉分析。本發明能夠提高橫向掃描速度,縮短測量時間,還能提高分辨率。
本發明授權基于空間編碼的干涉共焦測量系統及其測量方法在權利要求書中公布了:1.一種基于空間編碼的干涉共焦測量系統,其特征在于,包括光源、第一準直透鏡、第一四分之一波片、第二四分之一波片、偏振分光棱鏡、參考平面鏡、第一閃耀光柵、光闌、第一消色差透鏡、位移臺、聚焦透鏡、針孔、掩模板和成像光譜儀;其中, 光源用于發出白光; 第一準直透鏡用于將白光準直為平行光; 偏振分光棱鏡用于將平行光分成S偏振光和P偏振光,S偏振光作為參考光,P偏振光作為測量光; 第一四分之一波片用于將作為參考光的S偏振光變為左旋圓偏振光; 參考平面鏡用于對左旋圓偏振光進行反射,使左旋圓偏振光變為右旋圓偏振光,右旋圓偏振光經第一四分之一波片變為P偏振光,返回偏振分光棱鏡; 第二四分之一波片用于將作為測量光的P偏振光變為右旋圓偏振光; 第一閃耀光柵用于對右旋圓偏振光進行色散,將右旋圓偏振光分解成不同波長的單色偏振光; 光闌用于控制單色偏振光的進光量; 第一消色差透鏡用于對不同波長的單色偏振光的色差進行校正,使不同波長的單色偏振光的焦點相同,同時聚焦到待測物體上,經待測物體的表面反射變為左旋圓偏振光,再經第二四分之一波片變為S偏振光,返回偏振分光棱鏡; 聚焦透鏡用于對不同偏振態的光進行聚焦; 針孔用于抑制離焦光; 掩模板用于使不同偏振態的光透過時發生干涉; 成像光譜儀用于采用色散共焦干涉測量原理,對待測物體進行三維信息測量; 位移臺用于承載待測物體,帶動待測物體進行x方向和y方向的運動,x方向為待測物體的深度方向,y方向為待測物體的縱向。
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