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龍圖騰網獲悉無錫尚積半導體科技股份有限公司申請的專利用于等離子體發生器的自動換靶裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120519810B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202511036897.8，技術領域涉及：C23C14/34；該發明授權用于等離子體發生器的自動換靶裝置是由張超;張陳斌;丁聰;姜鑫磊;宋永輝;王世寬設計研發完成，并于2025-07-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于等離子體發生器的自動換靶裝置在說明書摘要公布了：本申請公開了一種用于等離子體發生器的自動換靶裝置，包括固定件、第一驅動組件、第二驅動組件、傳送組件和拆裝機構，通過固定件連接等離子體發生器的外殼，配合第一驅動組件驅使外殼往返于工作工位與換靶工位、第二驅動組件實現外殼升降，替代了人工抬升和移動外殼的操作；通過傳送組件在換靶工位轉移新、舊靶材，以及拆裝機構中與螺絲一一對應的螺絲刀、旋轉驅動組件和升降驅動組件，實現了螺絲的自動拆卸與鎖緊、及靶材的自動更替，替代了人工對準、拆卸螺絲、更換靶材的分步操作，解決了人工操作耗時久、工序割裂的問題，能夠縮短設備停機時間、避免因停機中斷生產節拍導致的晶圓良率降低及單位制造成本增加。

本發明授權用于等離子體發生器的自動換靶裝置在權利要求書中公布了：1.一種用于等離子體發生器的自動換靶裝置，其特征在于，包括： 固定件（11），用于連接等離子體發生器的外殼（1）； 第一驅動組件（21），用于驅使所述固定件（11）攜所述外殼（1）往返于工作工位和換靶工位，在所述工作工位，所述外殼（1）能夠與工藝腔體（3）連接、以便進行晶圓的工藝處理，在所述換靶工位，所述外殼（1）能夠與靶材（2）分離； 第二驅動組件（22），用于驅使所述固定件（11）攜所述外殼（1）做升降運動； 傳送組件（23），設于所述換靶工位，所述傳送組件（23）用于承接靶材（2）的傳送面上設有避位孔（23d）； 拆裝機構，設于所述換靶工位、位于所述傳送組件（23）下方，所述拆裝機構包括： 多把螺絲刀（31），所述螺絲刀（31）與連接所述外殼（1）和所述靶材（2）的螺絲一一對應，所述螺絲刀（31）內設有磁鐵，能夠吸住卸下的螺絲； 升降驅動組件，用于驅使所述螺絲刀（31）升降； 旋轉驅動組件，用于驅使所述螺絲刀（31）旋轉； 換靶時，所述第二驅動組件（22）驅使所述固定件（11）攜所述外殼（1）上升，使得所述外殼（1）脫離所述工藝腔體（3），所述第一驅動組件（21）驅使所述固定件（11）攜所述外殼（1）朝向所述換靶工位運動； 所述外殼（1）到達所述換靶工位后，所述避位孔（23d）、所述螺絲刀（31）與連接所述外殼（1）和所述靶材（2）的螺絲一一對應； 所述升降驅動組件驅使所述螺絲刀（31）上升，所述螺絲刀（31）能夠穿過所述避位孔（23d）、作用于所述螺絲； 所述旋轉驅動組件驅使所述螺絲刀（31）旋轉，所述螺絲刀（31）能夠卸下所述螺絲； 所述升降驅動組件驅使所述螺絲刀（31）攜所述螺絲下降，以便所述傳送組件（23）轉移拆下的舊靶材、送入新靶材； 所述升降驅動組件驅使所述螺絲刀（31）攜所述螺絲上升，配合所述旋轉驅動組件，所述螺絲能夠鎖緊所述新靶材和所述外殼（1）。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫尚積半導體科技股份有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區長江南路35-312號廠房；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。