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龍圖騰網獲悉無錫星微科技有限公司申請的專利一種氣浮升降旋轉平臺獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120565474B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202511045321.8，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權一種氣浮升降旋轉平臺是由陸敏杰;姜燕燕;沈恒宇設計研發完成，并于2025-07-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種氣浮升降旋轉平臺在說明書摘要公布了：本發明公開了一種氣浮升降旋轉平臺，屬于精密儀器技術領域，該平臺包括：底座、滑塊以及載物臺，滑塊在底座內通過氣體動力維持懸浮狀態，并可在垂直方向上響應外部載荷進行位置調整，載物臺與滑塊之間通過氣膜隔離接觸，載物臺可在平行于滑塊表面的平面內旋轉，滑塊包括殼體，殼體上部設有推力軸承，推力軸承內側設有徑向軸承，載物臺與推力軸承的上下表面間隙配合形成腔體，載物臺與徑向軸承的內側間隙配合形成腔體，推力軸承具有向腔體釋放高壓空氣的氣路，載物臺連接有電機。本發明降低了接觸摩擦以提高了升降精度和旋轉精度，提高了晶圓檢測對準效率。

本發明授權一種氣浮升降旋轉平臺在權利要求書中公布了：1.一種氣浮升降旋轉平臺，包括：底座（1）、滑塊（2）以及載物臺（3），其特征是：所述滑塊（2）在底座（1）內通過氣體動力維持懸浮狀態，并可在垂直方向上響應外部載荷進行位置調整，所述載物臺（3）與滑塊（2）之間通過氣膜隔離接觸，所述載物臺（3）可在平行于所述滑塊（2）表面的平面內旋轉，所述滑塊（2）包括殼體（21），所述殼體（21）上部設有推力軸承（4），所述載物臺（3）與所述推力軸承（4）的上下表面間隙配合形成腔體，所述推力軸承（4）具有向所述腔體釋放高壓空氣的氣路，所述氣路包括：在所述推力軸承（4）側面設置的第一供氣孔（41），與所述第一供氣孔（41）連通且貫穿所述推力軸承（4）上下表面的第二供氣孔（42），所述推力軸承（4）頂部具有連通所述第二供氣孔（42）的環形槽（43），所述環形槽（43）內設有環形的彈性件（7），所述彈性件（7）具有接觸支撐所述載物臺（3）的頂部，所述推力軸承（4）釋放高壓空氣時所述彈性件（7）的頂部受壓形變且不與所述載物臺（3）接觸，所述彈性件（7）包括彈性環（71），所述彈性環（71）的截面為開口向下的U形，所述彈性環的開口末端與所述環形槽（43）槽面固定并形成封閉的間隔空間。

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