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龍圖騰網(wǎng)獲悉杭州寬能半導(dǎo)體有限公司申請(qǐng)的專利一種SIC半導(dǎo)體濕法加工用調(diào)壓裝置和半導(dǎo)體加工設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120545227B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-26發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202511048122.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)一種SIC半導(dǎo)體濕法加工用調(diào)壓裝置和半導(dǎo)體加工設(shè)備是由沈奎邦設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-29向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種SIC半導(dǎo)體濕法加工用調(diào)壓裝置和半導(dǎo)體加工設(shè)備在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，公開(kāi)了一種SIC半導(dǎo)體濕法加工用調(diào)壓裝置和半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括刻蝕設(shè)備本體，所述刻蝕設(shè)備本體的一端固定連接有氣壓表殼，氣壓表殼的內(nèi)腔固定連接有表盤，表盤的中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)軸，第一轉(zhuǎn)軸的一端固定連接有指針，氣壓表殼的底端固定連通有連接氣管，連接氣管的一端與刻蝕設(shè)備本體固定連通，連接氣管的另一端固定連通有波登管，波登管的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一連接桿，第一連接桿的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二連接桿。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本申請(qǐng)使得刻蝕設(shè)備本體內(nèi)進(jìn)行蝕刻的半導(dǎo)體在發(fā)生化學(xué)反應(yīng)時(shí)產(chǎn)生的氣泡可以較快的上浮，降低氣泡附著在半導(dǎo)體外壁導(dǎo)致濕法刻蝕失敗或者效果較差的情況出現(xiàn)。

本發(fā)明授權(quán)一種SIC半導(dǎo)體濕法加工用調(diào)壓裝置和半導(dǎo)體加工設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種SIC半導(dǎo)體濕法加工用調(diào)壓裝置，其特征在于：包括刻蝕設(shè)備本體（1），所述刻蝕設(shè)備本體（1）的一端固定連接有氣壓表殼（2），所述氣壓表殼（2）的內(nèi)腔固定連接有表盤（3），所述表盤（3）的中部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)軸（4），所述第一轉(zhuǎn)軸（4）的一端固定連接有指針（5），所述氣壓表殼（2）的底端固定連通有連接氣管（6），所述連接氣管（6）的一端與所述刻蝕設(shè)備本體（1）固定連通，所述連接氣管（6）的另一端固定連通有波登管（7），所述波登管（7）的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一連接桿（8），所述第一連接桿（8）的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二連接桿（9），所述第二連接桿（9）的一端固定連接有第二轉(zhuǎn)軸（10），所述第二轉(zhuǎn)軸（10）的中部固定連接有半齒輪（11），所述半齒輪（11）的一端嚙合有圓齒輪（12），所述圓齒輪（12）與所述第一轉(zhuǎn)軸（4）的另一端固定連接，所述第二轉(zhuǎn)軸（10）的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定架（14），所述固定架（14）與所述氣壓表殼（2）固定連接，所述第二轉(zhuǎn)軸（10）的一端設(shè)置有抽氣組件，所述抽氣組件抽取刻蝕設(shè)備本體（1）內(nèi)氣體； 所述抽氣組件包括與所述第二轉(zhuǎn)軸（10）固定連接的絕緣環(huán)（15），所述絕緣環(huán)（15）的一端固定連接有控制桿（16），所述氣壓表殼（2）的內(nèi)壁固定連接有限位塊（17），所述限位塊（17）的中部開(kāi)設(shè)有移動(dòng)槽（18），所述移動(dòng)槽（18）的一端固定連接有第一觸摸塊（19），所述第一觸摸塊（19）的一端固定連接有第一電線（20），所述第一電線（20）貫穿至所述氣壓表殼（2）外部的一端固定連接有抽氣泵（21），所述抽氣泵（21）與所述刻蝕設(shè)備本體（1）固定連通。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人杭州寬能半導(dǎo)體有限公司，其通訊地址為：310000 浙江省杭州市蕭山區(qū)杭州空港經(jīng)濟(jì)區(qū)保稅路西側(cè)保稅大廈173-6室；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。