艾科系統(tǒng)公司馬修·埃里克·科瓦契奇獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉艾科系統(tǒng)公司申請的專利用于流量限制器的密封件獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114556536B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202080057738.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權用于流量限制器的密封件是由馬修·埃里克·科瓦契奇;扎卡賴亞·伊齊基爾·麥金太爾;肖恩·約瑟夫·彭利;克里斯托弗·布賴恩特·戴維斯設計研發(fā)完成，并于2020-08-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于流量限制器的密封件在說明書摘要公布了：用于控制氣流的裝置是輸送用于半導體制造的工藝氣體的重要部件。這些用于控制氣流的裝置經常依賴于有效密封的流量限制器，這可以消除流量限制器周圍的工藝氣體泄漏。在一個實施例中，公開了一種用于流量限制器的密封件，該密封件包括收縮配合到流量限制器的密封部分上的塑料圓柱體。在另一個實施例中，公開了一種用于流量限制器的密封件，該密封件具有帶流量孔的第一密封環(huán)、安裝在流量孔中的流量限制器。
本發(fā)明授權用于流量限制器的密封件在權利要求書中公布了：1.一種閥組件，包括： 包括有通道的閥； 流量限制器，該流量限制器包括： 第一端； 第二端； 從所述第一端延伸至所述第二端的縱向軸線； 密封部分，其沿所述縱向軸線位于所述第一端與所述第二端之間；以及 密封件，其與所述流量限制器的密封部分和所述閥的通道接觸； 其中，工藝氣體通過所述流量限制器從所述第一端流到所述第二端，所述密封件防止所述工藝氣體在所述流量限制器周圍流動；所述流量限制器與所述通道的壁間隔開。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人艾科系統(tǒng)公司，其通訊地址為：美國得克薩斯州78728奧斯汀市帕克路200C號600室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發(fā)布本報告當日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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