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龍圖騰網獲悉ALD真空技術有限公司申請的專利工件承載裝置的更換方法、工件承載裝置及用于涂覆基板的生產車間獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116057201B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180055936.2，技術領域涉及：C23C14/50；該發明授權工件承載裝置的更換方法、工件承載裝置及用于涂覆基板的生產車間是由約爾格·維蒂奇;西蒙·奧伯勒;優爾根·霍茨;史蒂芬·昆克爾;沃爾夫岡·理思設計研發完成，并于2021-07-14向國家知識產權局提交的專利申請。

本工件承載裝置的更換方法、工件承載裝置及用于涂覆基板的生產車間在說明書摘要公布了：本揭露是有關于一種用于在一生產車間10中更換一工件承載裝置50以涂覆多個基板12的方法。此方法包括以下步驟：通過一機器人16將依工件承載裝置50從一供應區20移動到一處理區14；通過機器人16進一步移動工件承載裝置50，經由工件承載裝置50的一耦接接口60將工件承載裝置50可釋放地耦接到生產車間10，其中為了將工件承載裝置50可釋放地耦接到生產車間10，工件承載裝置50的一連接臂58耦接到生產車間10的一連接部分26，從而將連接臂58固定在相對于連接部分26的一固定位置，并且其中為了將工件承載裝置50可釋放地耦接到生產車間10，工件承載裝置50的一驅動軸56連接到生產車間10的一驅動軸28，從而以一可旋轉驅動的方式將驅動軸56連接到驅動軸28。

本發明授權工件承載裝置的更換方法、工件承載裝置及用于涂覆基板的生產車間在權利要求書中公布了：1.一種更換一生產車間（10，100）中的一工件承載裝置（50）以涂覆多個基板（12）的方法，其中該方法包括以下步驟： 通過一機器人（16）將依工件承載裝置（50）從該生產車間（10、100）的一供應區（20）移動到該生產車間（10、100）的一處理區（14）； 通過該機器人（16）進一步移動該工件承載裝置（50），經由該工件承載裝置（50）的一耦接接口（60）將該工件承載裝置（50）可釋放地耦接到該生產車間（10、100）， 其中為了將該工件承載裝置（50）可釋放地耦接到該生產車間（10、100），該工件承載裝置（50）的一連接臂（58）耦接到該生產車間（10、100）的一連接部分（26），從而將該連接臂（58）固定在相對于該連接部分（26）的一固定位置，并且 其中為了將該工件承載裝置（50）可釋放地耦接到該生產車間（10、100），該工件承載裝置（50）的一驅動軸（56）可旋轉地安裝在該連接臂（58）中，并且耦接到該生產車間（10、100）的一驅動軸（28），由此該驅動軸（56）以可旋轉驅動的一方式連接到該驅動軸（28）， 其中該機器人（16）包括一可移動的鎖栓（88）， 在將該工件承載裝置（50）移動到該處理區（14）之前，該可移動的鎖栓（88）被插入到形成在該連接臂（58）中的一第一通孔（68）中，并且同時插入到形成在該驅動軸（56）中的一第一驅動軸孔（70）中，以阻止該驅動軸（56）和該連接臂（58）之間的一相對旋轉；并且 在將該工件承載裝置（50）可釋放地耦接到該生產車間（10、100）之后，將該可移動的鎖栓（88）從該第一通孔（68）和該第一驅動軸孔（70）移除，以允許該驅動軸（56）和該連接臂（58）之間的一相對旋轉。

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