華東光電集成器件研究所高博獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉華東光電集成器件研究所申請的專利一種適用不同厚度晶圓的石英舟獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114141675B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111479845.X，技術領域涉及：H01L21/673；該發明授權一種適用不同厚度晶圓的石英舟是由高博;張雷;喬琪琪;忽永瑞;孫瑞瑞;趙恩設計研發完成，并于2021-12-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種適用不同厚度晶圓的石英舟在說明書摘要公布了：本發明涉及一種適用不同厚度晶圓的石英舟，包括一對上槽棒（1）和一對下槽棒（2），上、下槽棒相互平行且上槽棒位于下槽棒上側，兩下槽棒之間連接一組石英板（3），兩下槽棒外側通過石英板分別與上槽棒連接，上、下槽棒上分別均布一組V型槽（4），上槽棒的V型槽位置與下槽棒的V型槽位置相互對應，均處在同一截面，所述上槽棒上的V型槽槽底連通有第一I型槽（5），所述下槽棒上的V型槽槽底連通有第二I型槽（6），第一I型槽槽寬為0.8?1.1mm，第二I型槽槽寬為0.4?0.7mm。本發明適用不同厚度、相同直徑晶圓，能夠防止晶圓傾斜過大，提高片間均勻性，滿足生產工藝要求，方便采用晶圓自動導片機進行自動化作業。
本發明授權一種適用不同厚度晶圓的石英舟在權利要求書中公布了：1.一種適用不同厚度晶圓的石英舟，包括一對上槽棒（1）和一對下槽棒（2），上、下槽棒相互平行且上槽棒（1）位于下槽棒（2）上側，兩下槽棒（2）之間連接一組石英板（3），兩下槽棒（2）外側通過石英板（3）分別與上槽棒（1）連接，上、下槽棒上分別均布一組V型槽（4），上槽棒（1）的V型槽（4）位置與下槽棒（2）的V型槽（4）位置相互對應，均處在同一截面，其特征在于：所述上槽棒（1）上的V型槽（4）槽底連通有第一I型槽（5），所述下槽棒（2）上的V型槽（4）槽底連通有第二I型槽（6），第一I型槽（5）槽寬為0.8-1.1mm，第二I型槽（6）槽寬為0.4-0.7mm； 所V型槽（4）槽口夾角為55-70°； 所述第一、第二I型槽的槽深均為1-5mm。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人華東光電集成器件研究所，其通訊地址為：233030 安徽省蚌埠市龍子湖區湯和路2016號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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