ASML荷蘭有限公司彭星月獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉ASML荷蘭有限公司申請的專利確定掩模規則檢查違規和掩模設計獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115390358B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210573051.8，技術領域涉及：G03F1/84；該發明授權確定掩模規則檢查違規和掩模設計是由彭星月;拉斐爾·C·豪厄爾;盧彥文;陳曉瑞設計研發完成，并于2022-05-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本確定掩模規則檢查違規和掩模設計在說明書摘要公布了：本文描述了用于使用具有與MRC相對應的幾何性質的檢測器來確定與掩模特征相關聯的所述掩模規則檢查違規MRC的方法和系統。所述檢測器例如橢圓形的被配置為包括用于檢測曲率違規的彎曲部分、封閉區域例如全封閉區域或者具有開口的部分封閉區域、被配置為引導具有掩模特征的所述檢測器的相對定位的規定取向軸線以及用于檢測臨界尺寸違規的長度。所述檢測器的所述取向軸線與所述掩模特征上的位置處的法向軸線對準。基于與所述掩模特征的所述法向軸線對準的所述取向軸線，與所述掩模特征的與所述封閉區域相交的區域對應的MRC違規被確定。
本發明授權確定掩模規則檢查違規和掩模設計在權利要求書中公布了：1.一種掩模規則檢查方法，包括： 獲得具有與掩模規則檢查相對應的幾何性質的非圓形檢測器，所述非圓形檢測器被配置為包括用于檢測曲率違規的彎曲部分、封閉區域、垂直于所述彎曲部分的取向軸線以及用以檢測臨界尺寸違規的沿所述取向軸線的長度； 將所述取向軸線與掩模特征上的位置的規定軸線對準，以使所述非圓形檢測器的所述長度沿所述掩模特征的所述規定軸線延伸；以及 基于所對準的非圓形檢測器和所述掩模特征，識別與所述掩模特征的與所述封閉區域相交的區域對應的掩模規則檢查違規，其中所述非圓形檢測器的所述對準和幾何形狀使所述檢測器與掩模特征的所述區域相交以識別違規； 其中所述非圓形檢測器具有至少第一彎曲部分和第二彎曲部分，其中所述第一彎曲部分具有第一曲率半徑，其中所述第二彎曲部分具有第二曲率半徑，并且其中所述第一曲率半徑不同于所述第二曲率半徑。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人ASML荷蘭有限公司，其通訊地址為：荷蘭維德霍溫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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