中國工程物理研究院激光聚變研究中心宋成偉獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國工程物理研究院激光聚變研究中心申請的專利一種緊聚焦飛秒激光光束的準直性調校方法及裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115026449B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210666689.6,技術領域涉及:B23K26/382;該發明授權一種緊聚焦飛秒激光光束的準直性調校方法及裝置是由宋成偉;黃滟荻;楊亮;李國;張春雨設計研發完成,并于2022-06-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種緊聚焦飛秒激光光束的準直性調校方法及裝置在說明書摘要公布了:本發明公開了一種緊聚焦飛秒激光光束的準直性調校方法及裝置,用于對飛秒激光準直校對,包括飛秒激光器、可調光闌、衰減能量裝置、轉向器一、轉向器二、載物臺、載玻片、顯微視覺模塊、平移臺;飛秒激光器發射激光束、可調光闌、衰減能量裝置沿激光發射方向依次同軸設置;衰減能量裝置通過轉向器一、轉向器二與顯微視覺模塊光路串聯;其中,轉向器一、轉向器二沿激光光路依次串聯;載玻片放置在載物臺臺面上,承接顯微視覺模塊輸出光;顯微視覺模塊與轉向器二與平移臺臺面固定連接。
本發明授權一種緊聚焦飛秒激光光束的準直性調校方法及裝置在權利要求書中公布了:1.一種緊聚焦飛秒激光光束的準直性調校裝置,其特征在于,包括:飛秒激光器(1)、可調光闌(2)、衰減能量裝置、轉向器一(5)、轉向器二(16)、載物臺(6)、載玻片(7)、顯微視覺模塊、平移臺(17); 所述飛秒激光器(1)發射激光束、所述可調光闌(2)、所述衰減能量裝置沿激光發射方向依次同軸設置; 所述衰減能量裝置通過所述轉向器一(5)、轉向器二(16)與所述顯微視覺模塊光路串聯; 其中,所述轉向器一(5)、所述轉向器二(16)沿激光光路依次串聯; 所述載玻片(7)放置在所述載物臺(6)臺面上,承接所述顯微視覺模塊輸出光; 所述顯微視覺模塊與所述轉向器二(16)與所述平移臺(17)臺面固定連接; 基于緊聚焦飛秒激光光束的準直性調校裝置的調校方法,包括以下步驟: 啟動飛秒激光器,采用可調光闌(2)對接收激光束的位置與孔徑進行預處理,使其可輸出同心衍射圖樣; 調整所述激光束(18)的功率和指向性,使聚焦物鏡(8)準確接收測試頻率下激光束(18)并進行聚焦,形成聚焦光束; 采用放置在載物臺(6)臺面上的載玻片(7)接收所述聚焦光束,并利用顯微視覺模塊對所述載玻片(7)上表面所呈圖像進行顯微成像調整,獲得清晰圖像; 優化所述激光束(18)功率,將所述激光束(18)的激光能量調減至其聚焦光束無法對放置于焦點處的所述載玻片(7)造成損傷的水平; 緊聚焦光束準直性調校,移動平移臺(17),調整所述顯微視覺模塊,直至獲得所述載玻片(7)上下表面所呈衍射圖樣中的光強分布均勻,并且與同心圓環圖樣同心為止。
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