中國科學技術大學陸凡凡獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學技術大學申請的專利一種封裝式亞波長光柵偏振濾波片及其制造方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115291313B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210790526.9,技術領域涉及:G02B5/20;該發明授權一種封裝式亞波長光柵偏振濾波片及其制造方法是由陸凡凡;邱克強;楊高元;劉正坤;洪義麟設計研發完成,并于2022-07-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種封裝式亞波長光柵偏振濾波片及其制造方法在說明書摘要公布了:本發明提供一種封裝式亞波長光柵偏振濾波片及其制造方法,所述偏振片包括雙層增透膜、紅外材料基底、介質光柵、雙層金屬膜,雙層金屬膜分別覆蓋于介質光柵槽底和光柵線頂部,光柵周期遠小于入射光波長,直接在基底上制造光柵矩形槽然后在光柵表面鍍金屬膜,采用和基底材料相同的材料封裝光柵槽,因為具有相同折射率,該封裝層可以減小光柵側壁界面的光反射損失,從而提高TM偏振光透過率,同時還可以極大保護金屬膜,在封裝好的光柵兩側鍍上雙層膜增透,可以解決長波紅外材料的透過率低的問題,在長波紅外波段,該偏振濾波片具有寬波段、高透過率、高消光比等特點。
本發明授權一種封裝式亞波長光柵偏振濾波片及其制造方法在權利要求書中公布了:1.一種封裝式亞波長光柵偏振濾波片,其特征在于:包括以紅外材料制作的基底材料、與基底材料采用相同材料的光柵、雙層金屬膜、雙層的第一、第二增透膜、與基底材料相同的封裝材料;以入射光入射方向為始,依次設置第一增透膜、第二增透膜、基底材料、第二增透膜、第一增透膜,所述基底材料內具有矩形的亞波長光柵槽,所述亞波長光柵槽的底部和光柵頂部分別蒸鍍一層金屬膜,用與所述亞波長光柵槽與基底材料相同的封裝材料封裝形成封裝層,在封裝好的基片兩側對稱鍍雙層的第一增透膜和第二增透膜; 第一增透膜為硫化鋅,第二增透膜為氟化鐿; 第一增透膜的厚度為857nm,第二增透膜的厚度為1267nm; 亞波長光柵在單獨考慮該結構而不考慮基底雙界面反射時,在7-14um實現優良的透過率; 在紅外材料基底上直接制造出亞波長光柵結構,然后蒸鍍一層鋁膜,再用與基底材料相同的材料封裝光柵; 所述封裝材料與基底材料相同,且厚度大于光柵槽深; 基底材料為硅,光柵周期為600nm,光柵槽深為450nm,采用鋁膜的金屬膜的厚度為120nm,占寬比為0.5,TM透過率高于90%,消光比高于47dB。
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