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龍圖騰網獲悉廣東凱迪微智能裝備有限公司申請的專利一種智能化晶圓刻蝕工藝獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119786396B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411991561.2，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種智能化晶圓刻蝕工藝是由江永;熊偉設計研發完成，并于2024-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種智能化晶圓刻蝕工藝在說明書摘要公布了：本發明涉及信息技術領域的一種智能化晶圓刻蝕工藝，包括：獲取不同材料在各種藥液配方下的刻蝕速率，構建覆蓋多種材料體系的刻蝕速率數據庫，通過比較數據庫中的刻蝕速率差異，篩選出刻蝕選擇性高的材料組合，確定針對性的藥液配方優化方向；在刻蝕設備中安裝多參數在線監測單元，采用光纖光譜儀實時測量藥液濃度，采用熱電偶和PH電極實時測量藥液溫度和酸堿度，當監測參數超出設定范圍，啟動藥液配比調節程序，通過控制進液量和排液量，實現藥液性質的動態調控，確保刻蝕工藝的穩定性和一致性。

本發明授權一種智能化晶圓刻蝕工藝在權利要求書中公布了：1.一種智能化晶圓刻蝕工藝，其特征在于，該工藝包括以下步驟： S101，獲取不同材料在各種藥液配方下的刻蝕速率，構建覆蓋多種材料體系的刻蝕速率數據庫，通過比較數據庫中的刻蝕速率差異，篩選出刻蝕選擇性高的材料組合，確定針對性的藥液配方優化方向； S102，針對篩選出的材料組合，采用第一性原理計算研究藥液中各組分與材料表面的相互作用機制，獲取表面反應的動力學參數，進行分子動力學模擬，揭示藥液擴散傳質過程的微觀機理，建立多尺度耦合的刻蝕過程模型，包括分子尺度的表面反應模型、介觀尺度的擴散傳質模型和宏觀尺度的刻蝕形貌演化模型，通過這些模型的耦合，闡明材料去除的速率控制步驟和化學反應路徑，指導藥液配方的優化； S103，采用微流控芯片技術，設計集成多個平行的刻蝕反應腔，實現藥液配方的高通量篩選，通過控制進樣泵的流速和藥液配比，在芯片內形成濃度梯度，利用光譜法實時監測芯片出口處的藥液組成，獲取不同配方下的刻蝕速率數據，運用機器學習算法建立配方與刻蝕性能的定量關系，獲得刻蝕選擇性高的藥液配方； S104，根據微流控芯片篩選結果，針對刻蝕選擇性高的藥液配方，設計噴淋頭陣列和攪拌裝置，形成均勻的藥液噴淋和湍流場，通過優化噴嘴形狀、噴嘴數量、噴淋角度和攪拌葉片參數，強化藥液與材料表面的傳質過程，提高刻蝕均勻性，藥液回收裝置采用溫度與電導率雙參數控制，根據藥液性質變化實時調整回收時間，減少藥液浪費； S105，在刻蝕設備中安裝多參數在線監測單元，采用光纖光譜儀實時測量藥液濃度，采用熱電偶和PH電極實時測量藥液溫度和酸堿度，當監測參數超出設定范圍，啟動藥液配比調節程序，通過控制進液量和排液量，實現藥液性質的動態調控，確?？涛g工藝的穩定性和一致性； S106，對動態調控后的刻蝕結果進行表征和評估，以刻蝕深度、表面粗糙度和刻蝕殘留為評價指標，采用光學顯微鏡和原子力顯微鏡對刻蝕結果進行表征，通過均勻性指數和選擇性指數的計算，量化評估不同材料體系和藥液配方的刻蝕性能，均勻性指數計算公式為刻蝕深度的標準差與平均值之比，選擇性指數計算公式為兩種材料刻蝕速率之比，對于性能評價結果，采用灰色關聯分析確定關鍵工藝參數，用于指導智能優化系統的學習和迭代更新； S107，基于工藝優化實驗數據，構建藥液配方、工藝參數與刻蝕結果之間的非線性映射模型，該模型采用多層神經網絡結構，輸入層為藥液配方和工藝參數，輸出層為刻蝕深度、均勻性和選擇性指標，將獲得的刻蝕規律和調控策略，形成動態更新的知識推理規則，開發基于案例推理和模糊邏輯的智能決策系統，實現藥液配方設計、工藝參數選取和刻蝕缺陷診斷的自動化和智能化。

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