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龍圖騰網(wǎng)獲悉宇弘研科技(蘇州)有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利一種涂膠顯影設(shè)備傳送裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120178601B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202510307588.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/16；該發(fā)明授權(quán)一種涂膠顯影設(shè)備傳送裝置是由周修斌;安禮余設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-03-17向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種涂膠顯影設(shè)備傳送裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明提供一種涂膠顯影設(shè)備傳送裝置，涉及涂膠顯影設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括：底座；所述底座固定在涂膠顯影設(shè)備上，底座頂端面固定有兩根第一電動(dòng)缸，兩根第一電動(dòng)缸的伸出端均固定在第一安裝塊底端面。應(yīng)急調(diào)整功能：當(dāng)?shù)谝浑妱?dòng)缸出現(xiàn)故障時(shí)，兩根第三電動(dòng)缸可以作為備用，通過(guò)伸展來(lái)應(yīng)急調(diào)整晶圓的高度，確保生產(chǎn)不受影響，提高了設(shè)備的可靠性和穩(wěn)定性；自動(dòng)對(duì)位與清潔功能：輔助組件中的安裝架能夠自動(dòng)將晶圓撥動(dòng)至放置槽內(nèi)，確保晶圓位置正確；同時(shí)，清潔塊能夠在晶圓移動(dòng)過(guò)程中清除其表面的灰塵，提高涂膠或顯影的質(zhì)量；氣流除塵效果：清潔組件通過(guò)伸縮瓶和噴氣管的連續(xù)噴氣，實(shí)現(xiàn)了晶圓頂端面的氣流除塵，進(jìn)一步提升了涂膠或顯影的精度和效果。

本發(fā)明授權(quán)一種涂膠顯影設(shè)備傳送裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種涂膠顯影設(shè)備傳送裝置，其特征在于，包括：底座（1）；所述底座（1）固定在涂膠顯影設(shè)備上，底座（1）頂端面固定有兩根第一電動(dòng)缸（2），兩根第一電動(dòng)缸（2）的伸出端均固定在第一安裝塊（3）底端面，第一安裝塊（3）上安裝有傳送組件（4）；傳送組件（4）由導(dǎo)軌座（401）、導(dǎo)軌（402）、滑動(dòng)塊（403）、座體（404）、第二安裝塊（405）、第二電動(dòng)缸（406）、第三電動(dòng)缸（407）和放置座（408）構(gòu)成，第一安裝塊（3）頂端面固定有兩根導(dǎo)軌座（401），每個(gè)導(dǎo)軌座（401）內(nèi)均固定有兩個(gè)導(dǎo)軌（402），每個(gè)導(dǎo)軌（402）上均滑動(dòng)有一個(gè)滑動(dòng)塊（403），兩個(gè)固定在滑動(dòng)塊（403）上；兩個(gè)導(dǎo)軌座（401）上固定有一個(gè)第二安裝塊（405），第二安裝塊（405）上固定有一根第二電動(dòng)缸（406），第二電動(dòng)缸（406）的伸出端固定在座體（404）上； 兩個(gè)導(dǎo)軌座（401）上安裝有輔助組件（7），輔助組件（7）由安裝架（701）和清潔塊（702）構(gòu)成，兩個(gè)導(dǎo)軌座（401）上固定有一個(gè)安裝架（701），安裝架（701）左側(cè)開(kāi)口端為V形結(jié)構(gòu)，安裝架（701）的底端面高于晶圓（5）頂端面0.1cm； 安裝架（701）底端面固定有清潔塊（702），清潔塊（702）位于晶圓（5）的右側(cè)位置，清潔塊（702）底端面與晶圓（5）頂端面平齊。

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