常州容導精密裝備有限公司王國棟獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉常州容導精密裝備有限公司申請的專利一種半導體用前驅體精餾裝置、系統及方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120242518B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510739785.2,技術領域涉及:B01D3/14;該發明授權一種半導體用前驅體精餾裝置、系統及方法是由王國棟;陸翔;張文靜;朱仁杰;張真真設計研發完成,并于2025-06-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種半導體用前驅體精餾裝置、系統及方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種半導體用前驅體精餾裝置、系統及方法,包括換熱組件、分布組件和集液組件,其中分布組件包括分布管體,分布管體的底部設有供精餾塔輸送蒸汽的連接孔;集液組件置于分布管體與換熱組件之間,包括用于收集換熱組件冷凝產生的液體的采出器,采出器的底部設有基板,基板上設置有溢流管和若干氣相流通管,氣相流通管連通采出器與分布管體;溢流管一端伸入采出器形成有溢流口,另一端伸入分布組件且位于連接孔上方,使得冷凝液體能夠與從精餾塔中出來的蒸汽在分布管體內相接觸,實現沖洗蒸汽中的重組分物質,然后一同回流至精餾塔中,相應的輕組分物質能夠被快速的富集,并及時排出,使得半導體前驅體中的輕組分物質含量降低。
本發明授權一種半導體用前驅體精餾裝置、系統及方法在權利要求書中公布了:1.一種半導體用前驅體精餾裝置,包括換熱組件100,其特征在于,還包括: 分布組件200,所述分布組件200包括分布管體210,所述分布管體210的底部設有供精餾塔輸送蒸汽的連接孔220; 置于所述分布管體210與所述換熱組件100之間的集液組件300,所述集液組件300包括用于收集所述換熱組件100冷凝產生的液體的采出器310,所述采出器310的底部設有基板320,所述基板320上設置有溢流管330和若干氣相流通管340,所述氣相流通管340連通所述采出器310與分布管體210;所述溢流管330一端伸入采出器310,與所述采出器310的側壁面形成集液空間380,所述溢流管330伸入采出器310的一端上設有溢流口331,另一端伸入分布組件200且位于所述連接孔220上方,使得冷凝液體能夠與從精餾塔中出來的蒸汽在分布管體210內相接觸,實現沖洗蒸汽中的重組分物質; 其中,所述溢流管330位于所述基板320的中心位置,若干所述氣相流通管340圍繞所述溢流管330設置,所述溢流管330與所述連接孔220共軸設置,所述溢流管330的內徑不小于所述連接孔220的直徑,所述溢流管330內的液體經所述連接孔220回流至精餾塔內; 所述氣相流通管340伸入所述采出器310內的一端開有出氣孔341,所述氣相流通管340的另一端設有進氣孔342,所述進氣孔342與所述基板320的底面齊平,所述出氣孔341設置在所述溢流管330遠離所述基板320一側的側壁面上,所述氣相流通管340遠離所述基板320一側的頂部端面封閉設置。
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