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龍圖騰網(wǎng)獲悉泓滸(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利基于R-θ構(gòu)型機(jī)器人的晶圓傳輸系統(tǒng)及其裝配方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120376484B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510867357.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/677；該發(fā)明授權(quán)基于R-θ構(gòu)型機(jī)器人的晶圓傳輸系統(tǒng)及其裝配方法是由郭斌;王彭;林堅(jiān)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-26向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基于R-θ構(gòu)型機(jī)器人的晶圓傳輸系統(tǒng)及其裝配方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及基于R?θ構(gòu)型機(jī)器人的晶圓傳輸系統(tǒng)及其裝配方法。包括機(jī)器人和晶圓艙室。其中，機(jī)器人包括主軸，所述主軸連接有手臂機(jī)構(gòu)，所述手臂機(jī)構(gòu)包括串聯(lián)結(jié)構(gòu)的手臂，所述手臂中的任意一個與主軸直接或傳動連接；晶圓艙室供晶圓取放并環(huán)繞機(jī)器人設(shè)置為多個，所述手臂在主軸的帶動下進(jìn)行進(jìn)出晶圓艙室的插補(bǔ)動作；所述手臂機(jī)構(gòu)設(shè)置為多個，多個所述手臂機(jī)構(gòu)沿同一豎直軸線與主軸的執(zhí)行端轉(zhuǎn)動連接。通過在主軸的同一豎直軸線上設(shè)置兩個獨(dú)立且可同時運(yùn)動的手臂機(jī)構(gòu)，系統(tǒng)能夠并行執(zhí)行兩個晶圓的取放操作。相較于傳統(tǒng)單臂系統(tǒng)，處理相同數(shù)量晶圓的所需時間大幅縮短，系統(tǒng)吞吐量顯著提升。

本發(fā)明授權(quán)基于R-θ構(gòu)型機(jī)器人的晶圓傳輸系統(tǒng)及其裝配方法在權(quán)利要求書中公布了：1.基于R-θ構(gòu)型機(jī)器人的晶圓（100）傳輸系統(tǒng)，其特征在于，包括： 機(jī)器人，包括主軸，所述主軸連接有手臂機(jī)構(gòu)（1），所述手臂機(jī)構(gòu)（1）包括串聯(lián)結(jié)構(gòu)的手臂，所述手臂中的任意一個與主軸直接或傳動連接； 晶圓艙室（2），供晶圓（100）取放并環(huán)繞機(jī)器人設(shè)置為多個，所述手臂在主軸的帶動下進(jìn)行進(jìn)出晶圓艙室（2）的插補(bǔ)動作； 所述手臂機(jī)構(gòu)（1）設(shè)置為多個，多個所述手臂機(jī)構(gòu)（1）沿同一豎直軸線與主軸的執(zhí)行端轉(zhuǎn)動連接； 其中，所述手臂至少包括第一手臂（11）、第二手臂（12）和第三手臂（13）；設(shè)定所述第三手臂（13）所處中軸線為第一軸線（4）；以主軸中點(diǎn)為圓心，所述第一手臂（11）與第二手臂（12）長度尺寸的差值為半徑的圓為基準(zhǔn)圓（5）；所述第二手臂（12）與第三手臂（13）的連接端于插補(bǔ)運(yùn)動時形成與基準(zhǔn)圓（5）相切的插補(bǔ)線（6）；且所述第三手臂（13）遠(yuǎn)離第二手臂（12）的一端進(jìn)入對應(yīng)晶圓艙室（2）的取片位置時，所述插補(bǔ)線（6）與第一軸線（4）形成偏轉(zhuǎn)角；所述偏轉(zhuǎn)角使得任意手臂機(jī)構(gòu)（1）能夠?qū)θ我饩A艙室（2）進(jìn)行插補(bǔ)動作； 設(shè)定所述取片位置與主軸的距離為R1；所述第一手臂（11）分別連接主軸和第二手臂（12）的兩個轉(zhuǎn)動端的間距為L1；所述第二手臂（12）分別連接第一手臂（11）和第三手臂（13）的兩個轉(zhuǎn)動端的間距為L2；所述第三手臂（13）連接第二手臂（12）的轉(zhuǎn)動連接端與其取片中心的間距為L3；所述偏轉(zhuǎn)角為Phi；具有Phi=arcsinL1-L2R1-L3。

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