西安晟光硅研半導體科技有限公司楊森獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉西安晟光硅研半導體科技有限公司申請的專利一種用于激光微射流設備加工頭的紫外消色差物鏡獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120395112B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510920027.0,技術領域涉及:B23K26/06;該發明授權一種用于激光微射流設備加工頭的紫外消色差物鏡是由楊森;周立;張聰;陳磊;岳娜;黨雪;李高明設計研發完成,并于2025-07-04向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種用于激光微射流設備加工頭的紫外消色差物鏡在說明書摘要公布了:本發明公開了一種用于激光微射流設備加工頭的紫外消色差物鏡,屬于激光微射流設備技術領域,加工頭包括窗片、水腔和噴頭,噴頭包括噴孔,紫外消色差物鏡、窗片、水腔和噴頭沿紫外消色差物鏡的光軸方向依次設置,紫外消色差物鏡用于將紫外激光聚焦至水腔和噴孔中;紫外消色差物鏡包括依次同軸設置的第一雙凸正透鏡、雙凹負透鏡、第二雙凸正透鏡以及彎月正透鏡組,紫外激光經第一雙凸正透鏡匯聚后進入雙凹負透鏡,經雙凹負透鏡發散后進入第二雙凸正透鏡,經第二雙凸正透鏡匯聚后進入彎月正透鏡組,經彎月正透鏡組匯聚后依次穿過窗片和水腔進入噴孔中,從而能夠提高紫外消色差物鏡對紫外激光的消色差能力。
本發明授權一種用于激光微射流設備加工頭的紫外消色差物鏡在權利要求書中公布了:1.一種用于激光微射流設備加工頭的紫外消色差物鏡,其特征在于,所述加工頭包括窗片、水腔和噴頭,所述噴頭包括噴孔,所述紫外消色差物鏡、窗片、水腔和噴頭沿所述紫外消色差物鏡的光軸方向依次設置,所述紫外消色差物鏡用于將紫外激光聚焦至所述水腔和所述噴孔中; 所述紫外消色差物鏡包括依次同軸設置的第一雙凸正透鏡、雙凹負透鏡、第二雙凸正透鏡以及彎月正透鏡組,所述紫外激光經所述第一雙凸正透鏡匯聚后進入所述雙凹負透鏡,經所述雙凹負透鏡發散后進入所述第二雙凸正透鏡,經所述第二雙凸正透鏡匯聚后進入所述彎月正透鏡組,經所述彎月正透鏡組匯聚后依次穿過所述窗片和所述水腔進入所述噴孔中; 其中,所述第一雙凸正透鏡上表面的曲率半徑的絕對值小于所述第一雙凸正透鏡下表面的曲率半徑的絕對值,所述第二雙凸正透鏡上表面的曲率半徑的絕對值小于所述第二雙凸正透鏡下表面的曲率半徑的絕對值,所述第一雙凸正透鏡下表面的曲率半徑的絕對值小于所述第二雙凸正透鏡上表面的曲率半徑的絕對值; 其中,所述彎月正透鏡組包括第一彎月正透鏡、第二彎月正透鏡以及第三彎月正透鏡; 所述第一雙凸正透鏡、雙凹負透鏡、第二雙凸正透鏡、第一彎月正透鏡、第二彎月正透鏡以及第三彎月正透鏡依次設置,所述紫外激光經所述第二雙凸正透鏡匯聚后進入所述第一彎月正透鏡,經所述第一彎月正透鏡匯聚后進入所述第二彎月正透鏡,經所述第二彎月正透鏡匯聚后進入所述第三彎月正透鏡,經所述第三彎月正透鏡匯聚后依次穿過所述窗片和所述水腔進入所述噴孔中; 其中,所述第一彎月正透鏡上表面的曲率半徑大于所述第二彎月正透鏡上表面的曲率半徑,所述第一彎月正透鏡下表面的曲率半徑大于所述第二彎月正透鏡下表面的曲率半徑; 其中,所述第二彎月正透鏡上表面的曲率半徑大于所述第三彎月正透鏡上表面的曲率半徑,所述第二彎月正透鏡下表面的曲率半徑大于所述第三彎月正透鏡下表面的曲率半徑; 其中,所述第一雙凸正透鏡上表面的曲率半徑為57.1mm~57.5mm,下表面的曲率半徑為-59.4mm~-59.0mm,折射率為1.44~1.48,阿貝數為67.6~68.0; 所述雙凹負透鏡上表面的曲率半徑為-92.2mm~-91.8mm,下表面的曲率半徑為34.7mm~35.1mm,折射率為1.60~1.64,阿貝數為36.2~36.6; 所述第二雙凸正透鏡上表面的曲率半徑為77.2mm~77.6mm,下表面的曲率半徑為-113.5mm~-113.1mm,折射率為1.42~1.46,阿貝數為94.3~94.7; 所述第一彎月正透鏡上表面的曲率半徑為37.8mm~38.2mm,下表面的曲率半徑為341mm~345mm,折射率為1.42~1.46,阿貝數為94.3~94.7; 所述第二彎月正透鏡上表面的曲率半徑為23.0mm~23.4mm,下表面的曲率半徑為55.3mm~55.7mm,折射率為1.44~1.47,阿貝數為67.6~68.0; 所述第三彎月正透鏡上表面的曲率半徑為11.2mm~11.6mm,下表面的曲率半徑為14.6mm~15.0mm,折射率為1.44~1.47,阿貝數為67.6~68.0。
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