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龍圖騰網獲悉深圳市石金科技股份有限公司申請的專利一種用于硅片鍍膜的水平石墨舟獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120453207B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510929068.6，技術領域涉及：H01L21/673；該發明授權一種用于硅片鍍膜的水平石墨舟是由劉平;肖杰;隗柯;黃旭;尼廣超設計研發完成，并于2025-07-07向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種用于硅片鍍膜的水平石墨舟在說明書摘要公布了：本發明公開了一種用于硅片鍍膜的水平石墨舟，涉及半導體器件技術領域，包括底片和頂片，底片和頂片之間設置有第一內片，底片和頂片之間還設置有第二內片，且第一內片和第二內片在底片和頂片間相互交替設置，第一內片和第二內片上均貫穿開設有貫穿槽，貫穿槽內固定設置有用于承載硅片的承載部，底片下方設置有用于支撐底片的支撐部，支撐部上設置有用于固定底片、第一內片、第二內片以及頂片的固定機構，支撐部上設置有調節機構。本裝置通過設置有調節機構，從而使得本裝置能夠適用于不同厚度的待鍍膜硅片的承載放置，進而有效防止硅片在鍍膜過程中發生位移、傾斜和掉落，從而提高了硅片表面鍍膜均勻性，有效降低了硅片鍍膜的廢品率。

本發明授權一種用于硅片鍍膜的水平石墨舟在權利要求書中公布了：1.一種用于硅片鍍膜的水平石墨舟，包括底片（1）和頂片（2），其特征在于，所述底片（1）和頂片（2）之間設置有多個等距分布的第一內片（3），所述底片（1）和頂片（2）之間還設置有多個等距分布的第二內片（4），且多個第一內片（3）和多個第二內片（4）在底片（1）和頂片（2）間相互交替設置，所述第一內片（3）和第二內片（4）上均貫穿開設有多個等距分布的貫穿槽（5），所述貫穿槽（5）內固定設置有用于承載硅片的承載部，所述底片（1）下方設置有用于支撐底片（1）的支撐部，所述支撐部上設置有用于固定底片（1）、第一內片（3）、第二內片（4）以及頂片（2）的固定機構，所述支撐部上設置有調節機構； 所述承載部包括： 承載框（6），位于所述貫穿槽（5）內，且承載框（6）遠離底片（1）的表面開設有承載槽（7），所述承載槽（7）內開設有兩個對稱設置的調節槽（8）； 承載板（9），滑動設置于所述承載槽（7）內，且承載板（9）靠近調節槽（8）的端面固定設置有調節板（10），所述調節板（10）與所述調節槽（8）滑動連接； 所述調節機構包括： L形支板（16），具有多個，且多個L形支板（16）等距設置于任意一側的墊塊（11）上，且L形支板（16）與所述墊塊（11）固定連接； 驅動部，具有多組，且多組驅動部分別設置于相應的L形支板（16）上； 調節部，具有多組，且多組調節部等距設置于所述底片（1）上，所述調節部用于調節相鄰承載板（9）在承載槽（7）內的位置。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市石金科技股份有限公司，其通訊地址為：518127 廣東省深圳市西鄉街道龍騰社區匯智研發中心BC座C1801；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。