格科微電子(上海)有限公司徐濤獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉格科微電子(上海)有限公司申請的專利圖像傳感器形成方法及其圖像傳感器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113921541B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202010655916.6,技術領域涉及:H10F39/18;該發明授權圖像傳感器形成方法及其圖像傳感器是由徐濤;付文;鄭展設計研發完成,并于2020-07-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本圖像傳感器形成方法及其圖像傳感器在說明書摘要公布了:本發明提供一種圖像傳感器形成方法及其圖像傳感器,所述圖像傳感器形成方法包括:于像素區域上方形成金屬網格結構;于相鄰金屬網格之間形成島狀結構;沉積微透鏡材料,覆蓋所述金屬網格結構與所述島狀結構,于相鄰金屬網格之間形成嵌入式凸形微透鏡。本發明通過形成金屬網格以及位于金屬網格中的島狀結構,一次成型凸形微透鏡,減少工藝流程;微透鏡四周具有金屬網格,可以減少光線串擾,提高光學響應以及改善信噪比。
本發明授權圖像傳感器形成方法及其圖像傳感器在權利要求書中公布了:1.一種圖像傳感器形成方法,其特征在于,該方法至少包括: 于像素區域上方形成金屬網格結構; 沉積頂介質層覆蓋并填充所述金屬網格結構,通過光刻刻蝕工藝,于相鄰金屬網格之間形成島狀結構; 于以上步驟形成的結構表面沉積微透鏡材料,覆蓋所述金屬網格結構與所述島狀結構,于相鄰金屬網格之間一次成型形成嵌入式凸形微透鏡。
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