拓荊科技股份有限公司楊華龍獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉拓荊科技股份有限公司申請的專利晶圓自動承載系統及采用該系統傳送晶圓的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113838788B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010593931.2，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權晶圓自動承載系統及采用該系統傳送晶圓的方法是由楊華龍;楊德贊;劉聞敏;吳鳳麗設計研發完成，并于2020-06-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓自動承載系統及采用該系統傳送晶圓的方法在說明書摘要公布了：一種晶圓自動承載系統及采用該系統傳送晶圓的方法，該系統包括：真空腔室，其中具有多個晶圓承載工位；多個第一槳和第二槳，其均位于真空腔室內且能夠分別同步旋轉，且每一第二槳與相應第一槳構成一對槳，以共同承載一晶圓；雙套磁流體，其與真空腔室密封連接，且連接至多個第一槳和多個第二槳，以驅動其中的一者或兩者旋轉；第一驅動機構，其連接于雙套磁流體，以通過雙套磁流體驅動多個第一槳和多個第二槳同步同向旋轉；及第二驅動機構，其也連接于雙套磁流體，以通過雙套磁流體實現多個第一槳和多個第二槳之間的相對旋轉。該系統能減少晶元在傳送過程中的運動步驟，因而提高晶圓的傳送精度和穩定性，減小其位置誤差。
本發明授權晶圓自動承載系統及采用該系統傳送晶圓的方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓自動承載系統，其包括： 真空腔室1，其中具有多個晶圓承載工位11； 多個第一槳2，其位于所述真空腔室1內且能夠同步旋轉； 多個第二槳3，其也位于所述真空腔室1內且也能夠同步旋轉，其中所述多個第二槳3中的每一者分別與所述多個第一槳2中的相應一者構成一對槳，以共同承載一晶圓； 雙套磁流體4，其與所述真空腔室1密封連接，且連接至所述多個第一槳2和所述多個第二槳3，以驅動其中的一者或兩者旋轉； 第一驅動機構5，其連接于所述雙套磁流體4，以通過所述雙套磁流體4驅動所述多個第一槳2和所述多個第二槳3同步同向旋轉；及 第二驅動機構6，其也連接于所述雙套磁流體4，以通過所述雙套磁流體4實現所述多個第一槳2和所述多個第二槳3之間的相對旋轉。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人拓荊科技股份有限公司，其通訊地址為：110179 遼寧省沈陽市渾南區水家900號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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