意法半導體股份有限公司F·里奇尼獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉意法半導體股份有限公司申請的專利具有改善的對應力穩定性的微機電傳感器器件獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114062714B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202110901931.9,技術領域涉及:G01P15/08;該發明授權具有改善的對應力穩定性的微機電傳感器器件是由F·里奇尼;C·瓦爾扎西納;G·加特瑞設計研發完成,并于2021-08-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本具有改善的對應力穩定性的微機電傳感器器件在說明書摘要公布了:本公開的實施例涉及具有改善的對應力穩定性的微機電傳感器器件。一種微機電傳感器器件具有檢測結構,檢測結構包括:基底,具有第一表面;移動結構,具有在第一表面的第一區域處懸置于基底上方的慣性質量塊,以便相對于基底執行至少一個慣性移動;以及固定結構,具有在第一區域處懸置于基底上方的固定電極并且與移動結構一起限定出電容耦合部以形成至少一個感測電容器。器件還包括:單個整體式機械錨固件結構,定位于第一表面的與第一區域分離的第二區域處并且耦合至移動結構、固定結構和基底;以及連接元件,將移動結構和固定結構機械耦合至單個機械錨固件結構。
本發明授權具有改善的對應力穩定性的微機電傳感器器件在權利要求書中公布了:1.一種微機電傳感器器件,包括: 基底,具有第一表面,所述第一表面具有第一區域和第二區域,所述第二區域在橫向方向上定位于所述第一區域的外部; 移動結構,包括在所述第一表面的所述第一區域處懸置于所述基底上方的慣性質量塊; 固定結構,包括在所述第一表面的所述第一區域處懸置于所述基底上方的固定電極; 至少一個感測電容器,包括電容耦合至所述固定結構的所述移動結構; 單個整體式錨固件,在所述第二區域處耦合至所述基底,所述單個整體式錨固件耦合至所述移動結構和所述固定結構; 支撐元件;以及 多個連接元件,包括: 第一連接元件和第二連接元件,耦合至所述固定電極的相應集合以及所述單個整體式錨固件;以及 第三連接元件,耦合至所述支撐元件和所述單個整體式錨固件。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人意法半導體股份有限公司,其通訊地址為:意大利阿格拉布里安扎;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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