細美事有限公司樸君昊獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉細美事有限公司申請的專利用于多電平脈沖的裝置及包括其的基板處理裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114566418B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111426087.5，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權用于多電平脈沖的裝置及包括其的基板處理裝置是由樸君昊;具重謨;具滋明;金鉉鎮設計研發完成，并于2021-11-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于多電平脈沖的裝置及包括其的基板處理裝置在說明書摘要公布了：本發明提供當利用具有多個脈沖電平的射頻信號產生等離子體時，使電力反射最小化的用于多電平脈沖的裝置和包括其的基板處理裝置。所述裝置包括：射頻信號產生器，生成包括彼此不同的第一脈沖電平和第二脈沖電平的射頻信號；以及匹配網絡，接收所述射頻信號，并向負載提供對應的輸出信號，其中，所述射頻信號產生器以所述第一脈沖電平的第一目標阻抗和所述第二脈沖電平的第二目標阻抗彼此不同的方式生成射頻信號。
本發明授權用于多電平脈沖的裝置及包括其的基板處理裝置在權利要求書中公布了：1.一種用于多電平脈沖的裝置，包括： 射頻信號產生器，生成包括彼此不同的第一脈沖電平和第二脈沖電平的射頻信號；以及 匹配網絡，接收所述射頻信號，并向負載提供對應的輸出信號， 其中，所述射頻信號產生器以所述第一脈沖電平的第一目標阻抗和所述第二脈沖電平的第二目標阻抗彼此不同的方式生成所述射頻信號； 其中，所述匹配網絡包括可調諧的組件，所述匹配網絡針對所述第一脈沖電平調整所述組件的操作參數以實現阻抗匹配，針對所述第二脈沖電平不調整所述組件的操作參數，并且針對所述第二脈沖電平調整所述射頻信號產生器的所述第二目標阻抗。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人細美事有限公司，其通訊地址為：韓國忠清南道；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
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