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龍圖騰網獲悉蘇州感測通信息科技有限公司申請的專利一種電容式三軸MEMS陀螺獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115752411B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211547657.0，技術領域涉及：G01C19/5656；該發明授權一種電容式三軸MEMS陀螺是由黃宇浩設計研發完成，并于2022-12-05向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種電容式三軸MEMS陀螺在說明書摘要公布了：本發明揭示了一種電容式三軸MEMS陀螺結構，包括中部模塊化并排級聯成一體的XY軸檢測單元、Z軸檢測單元；四組驅動梳齒，其中每兩組分設于其一單元順應Y軸的兩外側；兩組驅動梳齒，每組分設于兩單元拼合處順應Y軸的兩外側；聯動部，分別與以上各單元、各梳齒活動部分相接傳動。本發明的電容式三軸MEMS陀螺，通過模塊化思路簡化器件設計，通過共用驅動信號并增大驅動和檢測的模態頻率，降低了各個模態頻率直接干擾的可能性，提高抗震性；大幅提高了Z軸方向的檢測靈敏度以及陀螺模組的抗干擾能力和整體輸出精度。

本發明授權一種電容式三軸MEMS陀螺在權利要求書中公布了：1.一種電容式三軸MEMS陀螺結構，其特征在于：包括驅動梳齒、驅動檢測梳齒和模塊化級聯的XY軸檢測單元、Z軸檢測單元，其中 所述XY軸檢測單元環繞襯底的第一中心點分布設有四個下電極板及其上方懸置的檢測質量塊，并設第一中心點為XY軸相交的原點，四個下電極板分為沿X軸在第一中心點兩側對稱分布的一組和沿Y軸在第一中心點兩側對稱分布的另一組，檢測質量塊由四塊對應下電極板形狀和分布的翼板一體相連成環狀，并通過第一中心點周邊的第一錨點和在檢測質量塊兩側外圍平行于Y軸的第一組錨框固定于襯底上，檢測質量塊分別與兩組下電極板相配合構成第一檢測電容； 所述Z軸檢測單元沿平行于Y軸在襯底的第二中心點兩側分布設有懸置狀第一擺動框、第二擺動框及各自框內襯底上的固定電極齒，第二中心點與X軸延伸方向重合，兩個擺動框通過其間所設的杠桿支撐組件一體相連，并通過在兩個擺動框兩側外圍平行于Y軸的第二組錨框固定于襯底上，兩個擺動框所接可動電極與固定電極齒相配合構成第二檢測電容； 四組驅動梳齒，兩組驅動梳齒設于XY軸檢測單元外側且沿Y軸在第一中心點的兩側對稱分布，另兩組驅動梳齒設于Z軸檢測單元外側且沿平行于Y軸在第二中心點的兩側對稱分布，每組驅動梳齒包括相互配合的可動驅動電極和固定驅動電極； 兩組驅動檢測梳齒，設于XY軸檢測單元和Z軸檢測單元相拼合處的外側且沿平行于Y軸在第二中心點的兩側對稱分布，每組驅動檢測梳齒包括相互配合的可動檢測電極和固定檢測電極； 以及聯動部，分別與可動驅動電極、可動檢測電極、檢測質量塊的外沿和兩個擺動框的外沿連接；其中所述驅動梳齒用于提供順應Y軸方向的驅動力，并且通過所述聯動部帶動可動檢測電極沿Y軸方向做往復運動，帶動檢測質量塊相對第一中心點做聚攏離散的往復運動以及帶動兩個擺動框相對第二中心點沿平行于Y軸方向做往復運動。

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