三星電子株式會社李承憲獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉三星電子株式會社申請的專利制造半導體器件的方法、半導體制造裝置和半導體器件獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112086347B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010122476.8，技術領域涉及：H01L21/033；該發明授權制造半導體器件的方法、半導體制造裝置和半導體器件是由李承憲;金汶浚;高在康;韓太鐘設計研發完成，并于2020-02-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本制造半導體器件的方法、半導體制造裝置和半導體器件在說明書摘要公布了：提供了使用熱可分解層制造半導體器件的方法、半導體制造裝置和半導體器件。所述方法包括：在襯底上形成蝕刻目標層；在所述蝕刻目標層上形成彼此間隔開的熱可分解圖案；形成至少覆蓋所述熱可分解圖案的側壁的第一掩模圖案；和通過加熱方法去除所述熱可分解圖案以暴露所述第一掩模圖案的側壁。
本發明授權制造半導體器件的方法、半導體制造裝置和半導體器件在權利要求書中公布了：1.一種制造半導體器件的方法，所述方法包括： 在襯底上形成蝕刻目標層； 在所述蝕刻目標層上形成彼此間隔開的熱可分解圖案； 形成填充所述熱可分解圖案之間的空間并覆蓋所述熱可分解圖案的頂表面的第一掩模層； 通過加熱方法去除所述熱可分解圖案；以及 在去除所述熱可分解圖案之后去除所述第一掩模層的上部以形成第一掩模圖案。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人三星電子株式會社，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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