上海交通大學劉武獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海交通大學申請的專利具有慣性力補償結構的諧振型流場傳感器及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119689019B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411879778.4,技術領域涉及:G01P5/08;該發明授權具有慣性力補償結構的諧振型流場傳感器及其制備方法是由劉武;呂樂洋;傅義航;趙浩文設計研發完成,并于2024-12-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本具有慣性力補償結構的諧振型流場傳感器及其制備方法在說明書摘要公布了:本申請提供一種具有慣性力補償結構的諧振型流場傳感器,包括:基底;雙端固定音叉,固定在基底的中部;纖毛支撐結構,懸空設置在基底上,位于雙端固定音叉的一端;梳齒電容,設置在基底上,位于雙端固定音叉的兩側;纖毛,設置在纖毛支撐結構上;微杠桿,一端與纖毛支撐結構連接,另一端與雙端固定音叉的一端連接;慣性力補償結構,懸空設置在基底上,相對于雙端固定音叉對稱設置,慣性力補償結構與雙端固定音叉的一端連接,位于微杠桿與雙端固定音叉之間。本申請通過傳感器上的纖毛捕捉空氣流場變化,通過電容檢測諧振頻率,可獲得流場流速,慣性力補償結構可以補償慣性力對輸出結果的干擾,使傳感器在受慣性力干擾時仍可輸出穩定的流場流速。
本發明授權具有慣性力補償結構的諧振型流場傳感器及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種具有慣性力補償結構的諧振型流場傳感器,其特征在于,包括:基底; 雙端固定音叉,固定在所述基底的中部; 纖毛支撐結構,懸空設置在所述基底上,位于所述雙端固定音叉的一端; 梳齒電容,設置在所述基底上,位于所述雙端固定音叉的兩側; 纖毛,設置在所述纖毛支撐結構上; 微杠桿,一端與所述纖毛支撐結構連接,另一端與所述雙端固定音叉的一端連接; 慣性力補償結構,懸空設置在所述基底上,相對于所述雙端固定音叉對稱設置,所述慣性力補償結構與所述雙端固定音叉的一端連接,位于所述微杠桿與所述雙端固定音叉的一端之間。
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