浙江大學陳芳獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉浙江大學申請的專利一種SEM環境中微柱壓縮實驗的壓頭微柱同軸對準方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119688445B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411988012.X，技術領域涉及：G01N3/02；該發明授權一種SEM環境中微柱壓縮實驗的壓頭微柱同軸對準方法是由陳芳;莊錦;樓莉萍;裘雅漁;丁曉坤;趙翌帆設計研發完成，并于2024-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種SEM環境中微柱壓縮實驗的壓頭微柱同軸對準方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種SEM環境中微柱壓縮實驗的壓頭微柱同軸對準方法，先調整微柱位置使壓頭位于微柱上方并處于掃描電鏡的同一視野中，再使微柱移動至微柱的中線與壓頭的中線上下共線，接著獲得景深，確定微柱的景深邊界點，將微柱從景深邊界點向后移動Δf2+R?r距離，完成壓頭與微柱同軸對準。本發明利用納米力學測試系統和掃描電子顯微鏡的聯用，結合特定的操作步驟，能夠實現壓頭與微柱的精確對準，方法簡便，易于操作，有利于減小微柱壓縮的測試誤差。
本發明授權一種SEM環境中微柱壓縮實驗的壓頭微柱同軸對準方法在權利要求書中公布了：1.一種SEM環境中微柱壓縮實驗的壓頭微柱同軸對準方法，其特征在于，包括以下步驟： 1將微柱的基底安裝在掃描電鏡的底座上，使納米力學測試系統中的壓頭與微柱處于掃描電鏡的同一視野中，并測量得到微柱半徑rμm； 2抬高微柱的基底，使壓頭的底面與壓頭在微柱的基底上的投影上下重合； 3降低微柱的基底，調整微柱位置使壓頭位于微柱上方并處于掃描電鏡的同一視野中； 4調整微柱的基底位置，使微柱移動至微柱的中線與壓頭的中線上下共線； 5將壓頭邊緣處聚焦清晰后，前后移動微柱至微柱的前表面輪廓清晰，此時以壓頭邊緣處為中心，利用SEM成像平面上獲得清晰像的景深Δfμm； 6向前移動微柱，確定微柱前側面模糊與清晰的分界位置，將此位置作為景深邊界點； 7將微柱從景深邊界點向后移動Δf2+R-r距離，完成壓頭與微柱同軸對準，其中R為壓頭半徑μm。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人浙江大學，其通訊地址為：310027 浙江省杭州市西湖區浙大路38號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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