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龍圖騰網(wǎng)獲悉大連理工大學(xué)申請(qǐng)的專利一種微納氣泡輔助石墨碳化硅坩堝磨拋加工裝備及方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120206315B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510339104.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B1/04；該發(fā)明授權(quán)一種微納氣泡輔助石墨碳化硅坩堝磨拋加工裝備及方法是由張振宇;羅準(zhǔn);趙楓;周紅秀設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-03-21向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種微納氣泡輔助石墨碳化硅坩堝磨拋加工裝備及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種微納氣泡輔助石墨碳化硅坩堝磨拋加工裝備及方法，包括：床身；主軸系統(tǒng)，包括主軸和安裝在主軸上的磨拋工具，所述主軸通過導(dǎo)軌設(shè)置在床身上并能夠相對(duì)于床身直線位移，以驅(qū)動(dòng)所述磨拋工具對(duì)轉(zhuǎn)臺(tái)上的坩堝進(jìn)行打磨；拋光液循環(huán)系統(tǒng)，所述拋光液循環(huán)系統(tǒng)用于向轉(zhuǎn)臺(tái)上的坩堝內(nèi)通入拋光液；微納氣泡發(fā)生裝置，用于向所述轉(zhuǎn)臺(tái)上的坩堝內(nèi)的拋光液中通入微納氣泡；微波發(fā)生裝置，用于向所述轉(zhuǎn)臺(tái)上的坩堝發(fā)射微波；聲表面波發(fā)生器，用于向所述轉(zhuǎn)臺(tái)上的坩堝發(fā)射聲表面波；轉(zhuǎn)臺(tái)，設(shè)置在所述床身上，所述轉(zhuǎn)臺(tái)能夠帶動(dòng)坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)。解決了現(xiàn)有機(jī)械打磨方法所制備的石墨碳化硅坩堝，無(wú)法滿足當(dāng)前對(duì)石墨碳化硅坩堝性能的極高要求的問題。

本發(fā)明授權(quán)一種微納氣泡輔助石墨碳化硅坩堝磨拋加工裝備及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種微納氣泡輔助石墨碳化硅坩堝磨拋加工裝備，其特征在于，包括：床身1； 主軸系統(tǒng)2，包括主軸21和安裝在主軸21上的磨拋工具22，所述主軸21通過導(dǎo)軌設(shè)置在床身1上并能夠相對(duì)于床身1直線位移，以驅(qū)動(dòng)所述磨拋工具22對(duì)轉(zhuǎn)臺(tái)6上的坩堝進(jìn)行打磨； 拋光液循環(huán)系統(tǒng)3，所述拋光液循環(huán)系統(tǒng)3用于向轉(zhuǎn)臺(tái)6上的坩堝內(nèi)通入拋光液； 微納氣泡發(fā)生裝置4，用于向所述轉(zhuǎn)臺(tái)6上的坩堝內(nèi)的拋光液中通入微納氣泡； 微波發(fā)生裝置5，用于向所述轉(zhuǎn)臺(tái)6上的坩堝發(fā)射微波； 聲表面波發(fā)生器10，用于向所述轉(zhuǎn)臺(tái)6上的坩堝發(fā)射聲表面波； 轉(zhuǎn)臺(tái)6，設(shè)置在所述床身1上，所述轉(zhuǎn)臺(tái)6能夠帶動(dòng)坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)； 所述微波發(fā)生裝置5發(fā)射的微波加速石墨碳化硅坩堝表面氧化層的生成，所述聲表面波發(fā)生器10發(fā)射的聲表面波促進(jìn)位錯(cuò)滑移，促使氧化層發(fā)生疲勞斷裂，所述微納氣泡發(fā)生裝置4通入拋光液中的微納氣泡在所述微波發(fā)生裝置5發(fā)射的微波的電磁場(chǎng)作用下潰滅，產(chǎn)生的沖擊用于剝離氧化層。

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