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龍圖騰網(wǎng)獲悉成都中科唯實儀器有限責任公司申請的專利一種真空插板閥獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120312868B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510821085.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：F16K27/04；該發(fā)明授權(quán)一種真空插板閥是由郭宇瀟;魏瓊林;冉從軍;鄭文才設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-06-19向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種真空插板閥在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種真空插板閥，包括殼體、傳動組件、閥芯組件和氣缸組件。殼體由上殼體和下殼體組成，內(nèi)部設(shè)有導向軌道，閥芯組件沿導向軌道直線運動。閥芯組件包括具有雙層輪廓的金屬支承件及其硫化成型的密封材料，配合殼體密封法蘭上的兩層密封面，通過軟對硬的接觸方式實現(xiàn)密封。氣缸組件包括缸筒、前缸蓋、后缸蓋和活塞，前后缸蓋上分別設(shè)有凸出的密封件，用于緩沖活塞運動；缸筒上設(shè)有緩沖孔與緩沖螺釘，調(diào)節(jié)活塞速度，實現(xiàn)雙重緩沖。傳動組件可在關(guān)閥狀態(tài)下實現(xiàn)自鎖。該真空插板閥具有低振動、結(jié)構(gòu)緊湊、適應顆粒環(huán)境和高壓差下可靠啟閉等優(yōu)點，適用于半導體設(shè)備中的真空密封控制系統(tǒng)。

本發(fā)明授權(quán)一種真空插板閥在權(quán)利要求書中公布了：1.一種真空插板閥，其特征在于：包括殼體（1）、傳動組件（2）、閥芯組件（3）和氣缸組件（4），所述殼體（1）由上殼體（11）和下殼體組成，內(nèi)部設(shè)有導向軌道；所述閥芯組件（3）設(shè)于所述導向軌道上，并可沿導向軌道作直線運動，所述閥芯組件（3）包括金屬支承件和密封材料，所述金屬支承件具有兩層輪廓，所述密封材料沿金屬支承件的兩層輪廓硫化成型；所述殼體（1）設(shè)有密封法蘭（12），所述密封法蘭（12）嵌入殼體（1）上預留的閥孔內(nèi)容，密封法蘭（12）內(nèi)側(cè)設(shè)有對應的兩層密封面，所述閥芯組件（3）的密封材料與密封法蘭（12）在密封面上通過軟對硬接觸實現(xiàn)密封；所述氣缸組件（4）包括缸筒（42）、前缸蓋（41）、后缸蓋（43）和活塞（44），前缸蓋（41）和后缸蓋（43）分別設(shè)有前端密封件（411）和后端密封件（431），所述密封件從缸蓋端面凸出，并在活塞（44）移動至端部時提供減振緩沖；所述缸筒（42）上設(shè)有緩沖孔（421），且所述緩沖孔（421）處設(shè)置有緩沖螺釘（45），用于調(diào)節(jié)所述活塞（44）的移動速度，從而實現(xiàn)雙重緩沖；所述缸筒（42）上設(shè)有對稱分布的氣嘴安裝孔（423），每個氣嘴安裝孔（423）通過連接通道（422）與緩沖孔（421）相連，所述緩沖孔（421）與氣嘴安裝孔（423）分別連通缸筒（42）內(nèi)部，且緩沖孔（421）設(shè)置在缸筒與前缸蓋（41）及后缸蓋（43）的連接處；所述活塞（44）上設(shè)有密封圈一（441）和密封圈二（442），兩者之間的間距為L2，所述氣嘴安裝孔（423）與緩沖孔（421）之間的間距為L1，且L1＜L2，從而實現(xiàn)活塞（44）運動末端階段的緩速控制。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人成都中科唯實儀器有限責任公司，其通訊地址為：610000 四川省成都市高新區(qū)科園南一路七號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。