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龍圖騰網(wǎng)獲悉上海大學(xué)申請(qǐng)的專利一種超寬帶合成光源的面陣譜域干涉半導(dǎo)體多層膜測(cè)量裝置及其實(shí)現(xiàn)方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120351867B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510845630.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/24；該發(fā)明授權(quán)一種超寬帶合成光源的面陣譜域干涉半導(dǎo)體多層膜測(cè)量裝置及其實(shí)現(xiàn)方法是由陳朋;周永昊;于瀛潔;林星羽;莫佳鑫;彭樂源設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-06-23向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種超寬帶合成光源的面陣譜域干涉半導(dǎo)體多層膜測(cè)量裝置及其實(shí)現(xiàn)方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種超寬帶合成光源的面陣譜域干涉半導(dǎo)體多層膜測(cè)量裝置與實(shí)現(xiàn)方法，屬于精密光學(xué)測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明用于面陣譜域干涉檢測(cè)裝置包括超寬帶合成光源、干涉系統(tǒng)、面陣光譜儀、半導(dǎo)體多層膜被測(cè)件等。所提出的測(cè)量方法以具有良好干涉性的超寬帶合成光源，激發(fā)多層膜分層輪廓和跨尺度厚度分布全場(chǎng)信息，由干涉系統(tǒng)形成載波多參數(shù)的干涉信號(hào)，并由面陣光譜儀記錄干涉信息，最后通過陣列頻譜分析，同步獲得多層膜分層輪廓及厚度分布信息。

本發(fā)明授權(quán)一種超寬帶合成光源的面陣譜域干涉半導(dǎo)體多層膜測(cè)量裝置及其實(shí)現(xiàn)方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種超寬帶合成光源的面陣譜域干涉半導(dǎo)體多層膜測(cè)量裝置，其特征在于，包括超寬帶合成光源、干涉系統(tǒng)、面陣光譜儀、半導(dǎo)體多層膜被測(cè)件和計(jì)算機(jī)處理單元；所述超寬帶合成光源是由多個(gè)可調(diào)諧激光器通過非線性光纖耦合生成的連續(xù)光譜；所述的干涉系統(tǒng)包括空間濾波器、準(zhǔn)直透鏡、分光鏡、參考鏡、物鏡和成像透鏡；所述超寬帶合成光源的面陣譜域干涉半導(dǎo)體多層膜測(cè)量裝置的實(shí)現(xiàn)方法，包括以下步驟： 步驟S1：系統(tǒng)標(biāo)定：包括腔長標(biāo)定和參考鏡誤差標(biāo)定； 步驟S2：聚焦定位：確保干涉物鏡與被測(cè)件表面處于最佳成像平面，最大化干涉條紋對(duì)比度； 步驟S3：面陣光譜數(shù)據(jù)采集：超寬帶合成光源激發(fā)多層膜反射信號(hào)，面陣光譜儀單次曝光獲取干涉信號(hào)Ix，y，λ，其中，x，y表示樣品的空間坐標(biāo)，λ表示波長； 步驟S4：數(shù)據(jù)重組：從獲得的面陣光譜儀采集的譜域干涉信號(hào)Ix，y，λ提取信號(hào)數(shù)據(jù)Ixi，yj，λk，其中，i＝1、2…n，j＝1、2…p，n、p分別是面陣光譜儀橫縱方向的像素點(diǎn)；k＝1、2…N，λ1...λN為波長調(diào)諧的范圍，提取光強(qiáng)信號(hào)數(shù)據(jù)Ixi，yj，λk進(jìn)行重組；重組后的信號(hào)數(shù)據(jù)形成陣列Ix，y，λk，其中λk表示第k個(gè)波長通道，由重組后的信號(hào)數(shù)據(jù)建立相位差對(duì)光強(qiáng)I的定量模型，表示第k個(gè)波長通道樣品的空間坐標(biāo)x,y位置的陣列數(shù)據(jù)； 步驟S5：信息分離：對(duì)采樣權(quán)重函數(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)，使用加權(quán)多步算法對(duì)被測(cè)件的多表面信息進(jìn)行分離； 步驟S6：分層厚度預(yù)估：基于光程差初步估算各層厚度，開展閾值檢測(cè)，從而定位反射峰位置ΔLk，進(jìn)行初始厚度計(jì)算：其中，Δlk為第k層光程差峰值位置，為材料參考折射率； 步驟S7：厚度與三維輪廓計(jì)算：根據(jù)光強(qiáng)陣列數(shù)據(jù)，基于所述步驟S6的初始厚度作為迭代優(yōu)化的起點(diǎn)，進(jìn)行厚度計(jì)算，基于所述步驟S6的初始厚度提供每一層厚度的空間分布，進(jìn)行三維輪廓重構(gòu)，輸出厚度分布dkx，y和三維輪廓hkx，y； 步驟S8：層間耦合補(bǔ)償與優(yōu)化：基于所述步驟S7的輸出的厚度dkx，y和折射率nkλ構(gòu)建傳輸矩陣T，計(jì)算理論干涉信號(hào)Imodelλ，基于所述的理論干涉信號(hào)Imodelλ和實(shí)測(cè)干涉數(shù)據(jù)Imeasλ修正層間多次反射引起的耦合誤差，提升反演精度，包括傳輸矩陣反演和遺傳算法優(yōu)化。

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