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龍圖騰網獲悉無錫亙芯悅科技有限公司申請的專利用于掃描電子顯微鏡的高度補償值計算方法、裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120431166B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510927956.4，技術領域涉及：G06T7/70；該發明授權用于掃描電子顯微鏡的高度補償值計算方法、裝置是由侯健;請求不公布姓名;陳龍;邵加強設計研發完成，并于2025-07-07向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于掃描電子顯微鏡的高度補償值計算方法、裝置在說明書摘要公布了：本申請涉及半導體技術領域，特別是涉及一種用于掃描電子顯微鏡的高度補償值計算方法、裝置、計算機設備、存儲介質和計算機程序產品。所述方法包括：獲取待檢測目標的光柵圖像；基于預構建的目標檢測網絡對光柵圖像進行處理，得到特征柵格在所述光柵圖像中的位置信息；基于預設的窗口尺寸以及所述位置信息，在光柵圖像中進行截取，得到目標區域圖像；基于灰度特征，對目標區域圖像以及參考區域圖像中特征柵格的關聯坐標信息進行亞像素匹配，得到亞像素坐標信息；根據目標區域圖像以及參考區域圖像中特征柵格的關聯坐標信息以及亞像素坐標信息，通過坐標變換得到待檢測目標的高度補償值。采用本方法能夠提高高度補償值的計算效率和精度。

本發明授權用于掃描電子顯微鏡的高度補償值計算方法、裝置在權利要求書中公布了：1.一種用于掃描電子顯微鏡的高度補償值計算方法，其特征在于，所述方法包括： 獲取待檢測目標的光柵圖像，所述光柵圖像基于預設的光柵結構成像得到，所述光柵結構包括一般柵格以及特征柵格，所述一般柵格為在成像區域中延第一方向平行排列分布的長條柵格，所述特征柵格為設于所述成像區域的中心的短條柵格，且所述特征柵格的中心區域設有缺口，所述特征柵格的寬度大于所述一般柵格，所述一般柵格的寬度從所述特征柵格開始向兩側遞增； 基于預構建的目標檢測網絡對所述光柵圖像進行處理，得到所述特征柵格在所述光柵圖像中的位置信息； 基于預設的窗口尺寸以及所述位置信息，在所述光柵圖像中進行截取，得到目標區域圖像； 基于所述目標區域圖像以及預設的參考區域圖像的灰度特征，對所述目標區域圖像以及所述參考區域圖像中所述特征柵格的關聯坐標信息進行亞像素匹配，得到亞像素坐標信息； 根據所述目標區域圖像以及所述參考區域圖像中所述特征柵格的關聯坐標信息以及所述亞像素坐標信息，通過坐標變換得到所述待檢測目標的高度補償值； 所述方法還包括： 獲取參考目標的參考光柵圖像，所述參考光柵圖像為在預設的基準高度下通過所述光柵結構對所述參考目標成像得到的光柵圖像； 基于所述目標檢測網絡對所述參考光柵圖像進行處理，得到所述參考光柵圖像中所述特征柵格的位置信息； 基于所述窗口尺寸以及所述參考光柵圖像中所述特征柵格的位置信息，在所述參考光柵圖像中進行截取，得到所述參考區域圖像。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人無錫亙芯悅科技有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市新吳區景賢路6號中國物聯網國際創新園H3-201；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。