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龍圖騰網(wǎng)獲悉埃克斯控股(北京)有限公司申請的專利機(jī)械手動作序列生成方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120439315B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510939879.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B25J9/16；該發(fā)明授權(quán)機(jī)械手動作序列生成方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)是由傅慧初;付錦超;李倓;劉斌;郭宇翔設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本機(jī)械手動作序列生成方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及機(jī)械手動作序列生成方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)，所述方法包括：獲取各個工藝模塊的運(yùn)行狀態(tài)、當(dāng)前晶圓完工時間和清潔預(yù)計(jì)完成時間；當(dāng)存在任一工藝模塊故障時，獲取機(jī)械手的當(dāng)前操作類型并判斷是否存在同加工步驟的并行工藝模塊，若存在，則構(gòu)建候選集；根據(jù)預(yù)設(shè)的優(yōu)先級排序規(guī)則，基于時間參數(shù)從候選集中選取最優(yōu)轉(zhuǎn)向工藝模塊；基于機(jī)械手的當(dāng)前操作類型、最優(yōu)轉(zhuǎn)向工藝模塊以及實(shí)時狀態(tài)參數(shù)重構(gòu)動作序列并控制機(jī)械手執(zhí)行；本申請公開的方法，可實(shí)現(xiàn)機(jī)械手動作序列的動態(tài)重構(gòu)，具有顯著的自適應(yīng)決策優(yōu)勢，不僅減少了人工干預(yù)的頻率，還顯著縮短了組合設(shè)備的停機(jī)時間，從而提高了組合設(shè)備整體的產(chǎn)能利用率。

本發(fā)明授權(quán)機(jī)械手動作序列生成方法、裝置、設(shè)備及存儲介質(zhì)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種機(jī)械手動作序列生成方法，其特征在于，包括： 獲取各個工藝模塊的實(shí)時狀態(tài)參數(shù)，所述實(shí)時狀態(tài)參數(shù)包括運(yùn)行狀態(tài)和時間參數(shù)，所述時間參數(shù)包括當(dāng)前晶圓完工時間和清潔預(yù)計(jì)完成時間； 當(dāng)任一工藝模塊的運(yùn)行狀態(tài)反饋該工藝模塊故障時，獲取機(jī)械手的當(dāng)前操作類型并判斷是否存在同加工步驟的并行工藝模塊，若存在，則構(gòu)建候選集； 根據(jù)預(yù)設(shè)的優(yōu)先級排序規(guī)則，基于時間參數(shù)從所構(gòu)建的候選集中選取最優(yōu)轉(zhuǎn)向工藝模塊； 基于機(jī)械手的當(dāng)前操作類型、所選取的最優(yōu)轉(zhuǎn)向工藝模塊以及各個工藝模塊的實(shí)時狀態(tài)參數(shù)重構(gòu)動作序列；具體的，機(jī)械手的當(dāng)前操作類型包括旋轉(zhuǎn)操作、取片操作和放片操作；當(dāng)機(jī)械手的當(dāng)前操作類型為旋轉(zhuǎn)操作時，判斷所選取的最優(yōu)轉(zhuǎn)向工藝模塊是否具備清潔需求，并根據(jù)判斷結(jié)果和各個工藝模塊的實(shí)時狀態(tài)參數(shù)重構(gòu)動作序列；當(dāng)機(jī)械手的當(dāng)前操作類型為取片操作時，根據(jù)各個工藝模塊的實(shí)時狀態(tài)參數(shù)重構(gòu)動作序列；當(dāng)機(jī)械手的當(dāng)前操作類型為放片操作時，基于所選取的最優(yōu)轉(zhuǎn)向工藝模塊和各個工藝模塊的實(shí)時狀態(tài)參數(shù)重構(gòu)動作序列； 控制機(jī)械手執(zhí)行重構(gòu)的動作序列。

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