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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市華芯半導(dǎo)體裝備技術(shù)有限公司申請的專利一種用于芯片制造的溫度控制系統(tǒng)和方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN120469519B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510983935.4，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G05D23/24；該發(fā)明授權(quán)一種用于芯片制造的溫度控制系統(tǒng)和方法是由夏裕;楊明靜設(shè)計研發(fā)完成，并于2025-07-17向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種用于芯片制造的溫度控制系統(tǒng)和方法在說明書摘要公布了：本申請公開了一種用于芯片制造的溫度控制系統(tǒng)和方法，該系統(tǒng)包括：負載單元，用于承載待制造芯片，其中，負載單元的溫度與電阻值相關(guān)；電流測量單元，與負載單元電連接，用于獲取負載單元的實時電流；電壓測量單元，與負載單元電連接，用于獲取負載單元的實時電壓；控制單元，與負載單元電連接，與電流測量單元和電壓測量單元信號連接，用于根據(jù)實時電流、實時電壓以及預(yù)設(shè)的目標電阻確定待調(diào)整功率，并基于待調(diào)整功率控制負載單元的交流電源在每個半周期內(nèi)的導(dǎo)通時間。

本發(fā)明授權(quán)一種用于芯片制造的溫度控制系統(tǒng)和方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于芯片制造的溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，包括： 負載單元，用于承載待制造芯片，其中，所述負載單元的溫度與電阻值相關(guān)； 電流測量單元，與所述負載單元電連接，用于獲取所述負載單元的實時電流； 電壓測量單元，與所述負載單元電連接，用于獲取所述負載單元的實時電壓； 控制單元，與所述負載單元電連接，與所述電流測量單元和所述電壓測量單元信號連接，用于根據(jù)所述實時電流、所述實時電壓以及預(yù)設(shè)的目標電阻確定待調(diào)整功率，并基于所述待調(diào)整功率控制所述負載單元的交流電源在每個半周期內(nèi)的導(dǎo)通時間； 其中，所述電流測量單元包括第五電阻、第六電阻、第七電阻、第八電阻、第九電阻、第十電阻、第十一電阻、第十二電阻、第十三電阻、第五電容、第六電容、第七電容、第八電容、第九電容、第十電容、第十一電容、第十二電容、第十三電容、第一隔離放大器、第一運算放大器和第一瞬態(tài)電壓抑制二極管； 其中，所述第五電阻的第一端與所述第六電阻的第一端電連接，所述第五電阻的第二端與所述第七電阻的第一端電連接；所述第六電阻的第二端分別與所述第五電容的第一端、所述第七電容的第二端和所述第一隔離放大器的第二端電連接；所述第七電阻的第二端分別與所述第六電容的第一端、第七電容的第一端和所述第一隔離放大器的第一端電連接；所述第五電容的第一端與所述第七電容的第二端電連接，所述第六電容的第一端與第七電容的第一端電連接；所述第一隔離放大器的第一端分別與所述第八電容的第一端和所述第九電容第一端電連接，所述第八電容和所述第九電容并聯(lián)；所述第一隔離放大器的第三端分別與所述第十電容的第一端、所述第十一電容的第一端和所述第八電阻的第一端電連接；所述第一隔離放大器的第四端與所述第九電阻的第一端電連接；所述第八電阻的第二端分別與所述第十電阻的第一端和所述第十二電容的第一端電連接；所述第九電阻的第二端分別與所述第十一電阻的第一端和所述第十二電容的第二端電連接；所述第十電阻的第二端分別與所述第十二電阻的第一端和所述第一運算放大器的第一端電連接；所述第十一電阻的第二端分別與所述第十三電阻的第一端和所述第一運算放大器的第二端電連接；所述第一運算放大器的第三端分別與所述第十二電阻的第二端、所述第一瞬態(tài)電壓抑制二極管的第一端和所述第十三電容的第二端電連接。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人深圳市華芯半導(dǎo)體裝備技術(shù)有限公司，其通訊地址為：518000 廣東省深圳市福田區(qū)沙頭街道天安社區(qū)泰然五路12號天安數(shù)碼城天祥大廈六層6D；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。