志圣科技(廣州)有限公司陳明宗獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉志圣科技(廣州)有限公司申請的專利基板整平裝置及整平治具獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115692237B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110823846.5，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權基板整平裝置及整平治具是由陳明宗;楊佳裕;賴家偉;霍正邦設計研發完成，并于2021-07-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板整平裝置及整平治具在說明書摘要公布了：關于一種基板整平裝置，包含機械工作臂以及整平治具，且整平治具可相對機械工作臂垂直活動。整平治具包含主體、多個壓平單元以及對準單元。主體設置于機械工作臂，且主體具有觀察窗口。壓平單元相間隔地設置于主體的周邊區域。對準單元設置于主體，且對準單元對應觀察窗口。
本發明授權基板整平裝置及整平治具在權利要求書中公布了：1.一種基板整平裝置，其特征在于，包含： 至少一機械工作臂；以及 整平治具，可相對該至少一機械工作臂垂直活動，該整平治具包含： 主體，設置于該至少一機械工作臂，且該主體具有觀察窗口； 多個壓平單元，相間隔地設置于該主體的周邊區域；以及 對準單元，設置于該主體，且該對準單元對應該觀察窗口； 其中該整平治具的該主體具有至少一導柱，該至少一機械工作臂具有穿槽，且該至少一導柱設置于該穿槽內； 其中該至少一機械工作臂將該整平治具移動到基板上方，接著該至少一機械工作臂垂直下降讓該整平治具實體接觸到該基板表面，該至少一機械工作臂持續垂直下降，則該整平治具將不再被該至少一機械工作臂支撐，該整平治具自身的重量施加在該基板發生翹曲的位置，進而令該翹曲的位置被壓平。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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